自找准大行程粗精定位系统研究

针对MEMS及半导体制造工艺超高精度的对准要求,论述了在有多维微驱动器定位系统中,应用PID和FUZZY联合控制的方式解决定位中存在的速度调节与系统振荡的矛盾;在一套由光栅、驱动器及激光干涉仪构成的闭环超高精度自对准定位系统中,应用坐标变换方式解决多维定位系统中的干涉现象;以及在实际系统中,采用直线电机与微驱动器联合驱动的硬件构架,并配以上述控制策略,对定位系统进行粗定位和微定位,最终实现步进精度小于10nm,多层压印重复对准精度小于20nm,达到压印光刻为实现0.1μm或更小特征尺寸而要求的30nm对准精度。

用于无中继传输系统的海底光缆

日本NTT公司最近开发出一种用于无中继传输系统的海底光缆，该系统采用了远程泵浦掺铒光纤(EDF)放大和后向喇曼放大技术。本文叙述了设计用于以2．5Gbit／s传输370km以上长距离无中继传输系统所要求的光纤特性，并试验研究了各种类型标准光纤的光损耗和喇曼增益特性，从中选择最合适的光纤。之后采用这种光纤以6芯单元形式制造海底光缆，并在成缆工艺过程中测量光损耗和喇曼增益特性的变化。由此证实，制造的光缆具有稳定的特性，适合采用远程泵浦系统进行长距离传输。

光纤流量传感器原理及研制

本文介绍了利用磁场调制光纤位移研制光纤流量传感器的方法。