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中红外量子级联激光器1×16锁相阵列设计
1
作者
王锐
张东亮
+4 位作者
张程程
林青华
罗明馨
郑显通
祝连庆
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2024年第5期46-56,共11页
针对中红外波段单管量子级联激光器存在输出功率有限的问题,提出相干阵列通过光放大后合束提升激光器功率的方法,研究波长为4.6μm的1×16量子级联激光器锁相阵列的结构设计与优化。通过设计低传输损耗、高光限制因子的单模波导确...
针对中红外波段单管量子级联激光器存在输出功率有限的问题,提出相干阵列通过光放大后合束提升激光器功率的方法,研究波长为4.6μm的1×16量子级联激光器锁相阵列的结构设计与优化。通过设计低传输损耗、高光限制因子的单模波导确定器件各层材料外延厚度;通过设计由100%反射率和50%反射率的布拉格反射镜组成的种子激光器实现4.6μm单波长激光输出;通过设计由1×2多模干涉耦合器(MMI)和弯曲波导组成的1×16分束器实现低损耗均匀分束并锁相;通过设计输出端口的Al_(2)O_(3)增透膜厚度并利用电注入放大的方式实现激光器阵列的大功率输出。最终确定波导上GaInAs层厚度为0.25μm,下GaInAs层厚度为0.1μm,上包层InP厚度为3μm,下包层InP厚度为1μm。当单模波导宽度为5μm时,波导损耗为0.055 dB·cm^(-1),光限制因子为0.733。100%反射镜刻蚀深度为0.2μm,周期为728 nm,占空比为0.5,周期数为1000;50%反射镜刻蚀深度为0.2μm,周期为727 nm,占空比为0.1,周期数为690;当阵列间距为35μm时,分束器尺寸为3080μm×605μm,损耗为0.254 dB,其中MMI尺寸为19μm×126μm;出射端口采用0.7μm的Al_(2)O_(3)增透膜,透射率达到0.975。最后比较了不同放大器阵列间距的温度与远场分布,相关研究结论可为量子级联激光器锁相阵列的研制提供设计参考。
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关键词
量子级联激光器
锁相阵列
分束
布拉格反射镜
多模干涉耦合器
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职称材料
基于GST薄膜的弯曲波导相变光学器件光学仿真与分析
2
作者
罗明馨
张东亮
+1 位作者
鹿利单
祝连庆
《半导体光电》
CAS
北大核心
2024年第2期228-233,共6页
研究了相变光学器件的光传输性能,使用时域有限差分法建立覆盖Ge_(2)Sb_(2)Te_(5)(GST)薄膜的弯曲波导模型,得到了在晶态和非晶态两种情况下GST的面积、厚度和在弯曲波导中的位置对光传输效率及损耗的影响规律。结果表明:GST的最优覆盖...
研究了相变光学器件的光传输性能,使用时域有限差分法建立覆盖Ge_(2)Sb_(2)Te_(5)(GST)薄膜的弯曲波导模型,得到了在晶态和非晶态两种情况下GST的面积、厚度和在弯曲波导中的位置对光传输效率及损耗的影响规律。结果表明:GST的最优覆盖面积为0.415μm^(2),厚度为17nm,器件光传输不受GST覆盖位置影响,光传输对比度最佳达到90.8%,插入损耗低至0.321dB,在1500~1670nm波长范围内能够实现宽光谱并行传输。该器件尺寸小,消光比大,理论上满足提高光计算准确率的需求。研究结果对于非易失性、并行集成光子矩阵计算单元器件的研制具有一定的参考意义。
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关键词
光子计算
相变光学器件
Ge2Sb2Te2
弯曲波导
覆盖型
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职称材料
量子级联激光器热仿真与分析
3
作者
林青华
张东亮
+3 位作者
王锐
张程程
罗明馨
祝连庆
《半导体光电》
CAS
北大核心
2024年第1期84-89,共6页
针对大功率量子级联激光器对高散热能力的迫切需求,文章通过有限元法建立了常见器件结构的二维散热模型。在设置的热沉温度为293 K、波长为8.3μm、波导宽为8μm、发热功率为12.4 W的器件模型中,研究了不同器件散热结构和封装结构对量...
针对大功率量子级联激光器对高散热能力的迫切需求,文章通过有限元法建立了常见器件结构的二维散热模型。在设置的热沉温度为293 K、波长为8.3μm、波导宽为8μm、发热功率为12.4 W的器件模型中,研究了不同器件散热结构和封装结构对量子级联激光器的温度及热通量分布的影响,进而评价器件的散热能力。结果表明,正焊无电镀金双沟道脊器件、正焊有电镀金双沟道脊器件和倒焊器件的最高温度分别为546,409和362 K。在掩埋异质结器件中,正焊无电镀金器件、正焊有电镀金器件、倒焊器件的最高温度分别为404,401和361 K。与使用铜底座相比,使用金刚石底座的掩埋异质结倒焊器件有源区的最高温度为355 K。对模型热通量分布进行了分析,发现掩埋异质结器件的热量分布更加均匀,有源区温度更低,这表明掩埋异质结更适合高功率器件。
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关键词
量子级联激光器
散热模型
温度分布
热通量分布
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职称材料
题名
中红外量子级联激光器1×16锁相阵列设计
1
作者
王锐
张东亮
张程程
林青华
罗明馨
郑显通
祝连庆
机构
北
京信息
科
技大学光电测试
技术
及仪器教育部重点实验室
北
京信息
科
技大学仪器
科
学与光电工程学院
广州南沙北科光子感知技术研究院
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2024年第5期46-56,共11页
基金
国家自然科学基金项目(62105039)
北京学者计划研究项目(BJXZ2021-012-00046)
北京市教育委员会科研计划项目(KM202111232019)。
文摘
针对中红外波段单管量子级联激光器存在输出功率有限的问题,提出相干阵列通过光放大后合束提升激光器功率的方法,研究波长为4.6μm的1×16量子级联激光器锁相阵列的结构设计与优化。通过设计低传输损耗、高光限制因子的单模波导确定器件各层材料外延厚度;通过设计由100%反射率和50%反射率的布拉格反射镜组成的种子激光器实现4.6μm单波长激光输出;通过设计由1×2多模干涉耦合器(MMI)和弯曲波导组成的1×16分束器实现低损耗均匀分束并锁相;通过设计输出端口的Al_(2)O_(3)增透膜厚度并利用电注入放大的方式实现激光器阵列的大功率输出。最终确定波导上GaInAs层厚度为0.25μm,下GaInAs层厚度为0.1μm,上包层InP厚度为3μm,下包层InP厚度为1μm。当单模波导宽度为5μm时,波导损耗为0.055 dB·cm^(-1),光限制因子为0.733。100%反射镜刻蚀深度为0.2μm,周期为728 nm,占空比为0.5,周期数为1000;50%反射镜刻蚀深度为0.2μm,周期为727 nm,占空比为0.1,周期数为690;当阵列间距为35μm时,分束器尺寸为3080μm×605μm,损耗为0.254 dB,其中MMI尺寸为19μm×126μm;出射端口采用0.7μm的Al_(2)O_(3)增透膜,透射率达到0.975。最后比较了不同放大器阵列间距的温度与远场分布,相关研究结论可为量子级联激光器锁相阵列的研制提供设计参考。
关键词
量子级联激光器
锁相阵列
分束
布拉格反射镜
多模干涉耦合器
Keywords
quantum cascade laser
phase-locked array
beam splitting
Bragg mirror
multimode interference coupler
分类号
TN242 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于GST薄膜的弯曲波导相变光学器件光学仿真与分析
2
作者
罗明馨
张东亮
鹿利单
祝连庆
机构
北
京信息
科
技大学光电测试
技术
及仪器教育部重点实验室
北
京信息
科
技大学光纤传感与系统
北
京实验室
广州南沙北科光子感知技术研究院
出处
《半导体光电》
CAS
北大核心
2024年第2期228-233,共6页
基金
北京学者计划研究项目(BJXZ2021-012-00046)
国家自然科学基金项目(62105039)
+1 种基金
中国科协青年托举人才工程项目(YESS20200146)
北京信息科技大学研究项目(2022XJJ07).
文摘
研究了相变光学器件的光传输性能,使用时域有限差分法建立覆盖Ge_(2)Sb_(2)Te_(5)(GST)薄膜的弯曲波导模型,得到了在晶态和非晶态两种情况下GST的面积、厚度和在弯曲波导中的位置对光传输效率及损耗的影响规律。结果表明:GST的最优覆盖面积为0.415μm^(2),厚度为17nm,器件光传输不受GST覆盖位置影响,光传输对比度最佳达到90.8%,插入损耗低至0.321dB,在1500~1670nm波长范围内能够实现宽光谱并行传输。该器件尺寸小,消光比大,理论上满足提高光计算准确率的需求。研究结果对于非易失性、并行集成光子矩阵计算单元器件的研制具有一定的参考意义。
关键词
光子计算
相变光学器件
Ge2Sb2Te2
弯曲波导
覆盖型
Keywords
photon computing
phase change optical devices
Ge2Sb2Te2
curved waveguides
covering type
分类号
TN25 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
量子级联激光器热仿真与分析
3
作者
林青华
张东亮
王锐
张程程
罗明馨
祝连庆
机构
北
京信息
科
技大学光电测试
技术
及仪器教育部重点实验室
北
京信息
科
技大学光纤传感与系统
北
京实验室
广州南沙北科光子感知技术研究院
出处
《半导体光电》
CAS
北大核心
2024年第1期84-89,共6页
基金
北京学者计划研究项目(BJXZ2021-012-00046)
国家自然科学基金项目(62105039)
+1 种基金
北京市教育委员会研究项目(KM202111232019)
北京信息科技大学研究项目(2022XJJ07)。
文摘
针对大功率量子级联激光器对高散热能力的迫切需求,文章通过有限元法建立了常见器件结构的二维散热模型。在设置的热沉温度为293 K、波长为8.3μm、波导宽为8μm、发热功率为12.4 W的器件模型中,研究了不同器件散热结构和封装结构对量子级联激光器的温度及热通量分布的影响,进而评价器件的散热能力。结果表明,正焊无电镀金双沟道脊器件、正焊有电镀金双沟道脊器件和倒焊器件的最高温度分别为546,409和362 K。在掩埋异质结器件中,正焊无电镀金器件、正焊有电镀金器件、倒焊器件的最高温度分别为404,401和361 K。与使用铜底座相比,使用金刚石底座的掩埋异质结倒焊器件有源区的最高温度为355 K。对模型热通量分布进行了分析,发现掩埋异质结器件的热量分布更加均匀,有源区温度更低,这表明掩埋异质结更适合高功率器件。
关键词
量子级联激光器
散热模型
温度分布
热通量分布
Keywords
QCLs
heat dissipation model
temperature distribution
heat flux
分类号
TN248 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
中红外量子级联激光器1×16锁相阵列设计
王锐
张东亮
张程程
林青华
罗明馨
郑显通
祝连庆
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
2
基于GST薄膜的弯曲波导相变光学器件光学仿真与分析
罗明馨
张东亮
鹿利单
祝连庆
《半导体光电》
CAS
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
3
量子级联激光器热仿真与分析
林青华
张东亮
王锐
张程程
罗明馨
祝连庆
《半导体光电》
CAS
北大核心
2024
0
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职称材料
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