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传感器在物业安全管理中的应用
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作者 刘彭义 陈俊芳 《传感器世界》 1998年第8期36-39,共4页
本文介绍了传感器在住宅物业安全管理中的应用的设计思想,并列出了传感器的一般分布。
关键词 物业管理 传感器 报警系统 住宅
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用PECVDS制备SnO_2薄膜的结构、成份和气敏特性 被引量:1
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作者 刘彭义 陈俊芳 《传感器世界》 1997年第8期24-28,共5页
采用PECVD方法在玻璃基片上制备出适合研制气敏传感器的低电阻率SnO_2薄膜,X-射线衍射分析表明沉积温度由高到低时,SnO_2薄膜从多晶态转变为非晶态,同时薄膜的电阻增加.X光电子能谱显示这种SnO_2薄膜是一种非化学计量配比成份的薄膜,其... 采用PECVD方法在玻璃基片上制备出适合研制气敏传感器的低电阻率SnO_2薄膜,X-射线衍射分析表明沉积温度由高到低时,SnO_2薄膜从多晶态转变为非晶态,同时薄膜的电阻增加.X光电子能谱显示这种SnO_2薄膜是一种非化学计量配比成份的薄膜,其分子式为SnO_(2-x)(0<X<1),沉积时,氧气流量增加,该薄膜的电阻率就随之增加.掺S_b的SnO_2薄膜对一氧化碳和酒精具有良好的气敏特性. 展开更多
关键词 二氧化锡 PECVDS法
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