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表面技术在半导体致冷器件中的应用
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作者 蒋玉思 高远 《广东有色金属学报》 2005年第1期46-48,共3页
综述了热喷涂、电镀、化学镀、阳极氧化和内电解镀等表面技术在半导体致冷器件中的研究及应用,分析了各种表面技术的优缺点,并指出了在半导体致冷组件中应用表面技术的发展趋势.
关键词 半导体致冷器件 表面技术 应用 半导体致冷组件 阳极氧化 发展趋势 热喷涂 化学镀 内电解 优缺点
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