半导体自动化软件的研究与分析

对于半导体制造业当前工艺复杂和工序繁多以及生产管理困等多种问题,笔者对于生产自动化系统(EquipmentAutomationProgram,EAP)进行了设计。这一系统汇集了半导体制造设备等多种通信协议,并且使用物联网技术把机台融入到系统管理同时目的达成智能控制,最初通过操作员去完成对作业信息的有效校验,并完成对机台参数的相关设置等十分烦琐同时容易产生错误的工作都可以通过EAP系统去自动执行。并且作为与设备底层进行链接的系统需要为工厂其他上游系统提供机台和产品等多种信息所需的接口,通过这种方式为企业保持数字化和智能化升级提供必须的底层支撑。通过在多个工厂执行,采取EAP系统作业能够有效的减少对操作员在技能上提出的要求,同时还能够有效降低人力与操作事故的出现,使得设备当前的使用率与产品良率得到保证,强化半导体制造针对加工整体过程进行的监控与管理。

自动化设备控制和监控软件的设计与研究

自动化技术的迅速发展,也促进了相应的设备软件的创新.根据这一现状本文将通过深入研究,逐步分析自动化设备控制与监控软件设计,并借助相关的技术提出几点有关提高当前自动化设备控制水平的有效措施.