接触式干涉仪大量程数字化技术改造

接触式干涉仪是利用微差比较测量法测量长度的高精度计量仪器,长时间测量眼睛极易疲劳、劳动强度大、易引入瞄准读数误差等缺点。在保留高精度光波干涉计量特点和基本保持原仪器光机结构的前提下,应用高像素CMOS图像器件及计算机图像处理技术改造传统的接触式干涉仪,可以在扩大原仪器量程的情况下实现量块检定的数字化智能化。