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CRT荫罩制造技术及其在平板显示等领域的应用 被引量:1
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作者 冯克勤 《液晶与显示》 CAS CSCD 2003年第3期219-221,共3页
CRT荫罩制造工艺的基础技术是光刻腐蚀。将应用于制造荫罩的精密光刻精细腐蚀技术引伸应用到平板显示、微电子、微机械等领域,可以制作出高精度OLED金属掩膜版,LCD、PDP光学掩膜版等,使这一非常成熟的工艺焕发出新的活力。
关键词 CRT 荫罩 制造工艺 制造技术 平板显示 精密光刻 精细腐蚀 掩膜版
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