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MSM光电探测器特性二维数值模拟
被引量:
2
1
作者
王庆康
史常忻
Wolfram Bettermann
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
1992年第4期321-325,共5页
为了解释在InGaAs金属-半导体-金属光电探测器(MSM—PD)内光产生载流子的行为及器件内电场分布,本文用有限元法数值求解了含复合项的二维泊松方程、电流连续方程及电荷俘获速率方程。得到了InGaAs MSM光电探测器的电流—电压特性及器件...
为了解释在InGaAs金属-半导体-金属光电探测器(MSM—PD)内光产生载流子的行为及器件内电场分布,本文用有限元法数值求解了含复合项的二维泊松方程、电流连续方程及电荷俘获速率方程。得到了InGaAs MSM光电探测器的电流—电压特性及器件内电场和载流子分布。模拟结果解释了实验观察到的雪崩击穿现象,并表明电子电流比空穴电流提前饱和。
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关键词
光电探测器
模拟
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职称材料
题名
MSM光电探测器特性二维数值模拟
被引量:
2
1
作者
王庆康
史常忻
Wolfram Bettermann
机构
上海交通
大学
微
电子
技术
研究所
德国亚琛工业大学半导体电子学研究所
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
1992年第4期321-325,共5页
基金
中国国家自然科学基金会
德国德意志研究联合会联合资助
文摘
为了解释在InGaAs金属-半导体-金属光电探测器(MSM—PD)内光产生载流子的行为及器件内电场分布,本文用有限元法数值求解了含复合项的二维泊松方程、电流连续方程及电荷俘获速率方程。得到了InGaAs MSM光电探测器的电流—电压特性及器件内电场和载流子分布。模拟结果解释了实验观察到的雪崩击穿现象,并表明电子电流比空穴电流提前饱和。
关键词
光电探测器
模拟
Keywords
Photodetector, Simulation
分类号
TN382 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MSM光电探测器特性二维数值模拟
王庆康
史常忻
Wolfram Bettermann
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
1992
2
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