功率为600W的紧凑型KrF激光器

报道了紫外预电离高功率放电KrF激光器的实验研究结果。表明，脉冲重复率一直增长到620Hz为止，都观察到激光平均功率增长，脉冲重复率为620Hz时，所研究的激光器平均功率达到最大值——630W。所得结果显示建立稳定平均功率为300～500W的工业化KrF激光器有现实前途。在稳定平均功率为300W时，激光器可以8小时不更换气体连续工作(12×10 ^-6脉冲)，这时，脉冲之间的振荡不稳定性为～2％。