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用激光干涉仪实现高精度定位 被引量:1
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作者 Konrad Mücke 《世界制造技术与装备市场》 2007年第3期114-114,116,共2页
主轴头和控制系统补偿的位置误差方面,大型加工中心的定位精度要求为数百分之一毫米。采用ML10激光干涉仪就能达到要求。
关键词 高精度定位 激光干涉仪 位置误差 系统补偿 精度要求 加工中心 主轴头
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