Cu纳米颗粒薄膜的飞秒激光溅射实验研究

实验利用飞秒脉冲激光沉积Cu纳米颗粒薄膜,获得不同激光能量时溅射Cu粒子空间分布结果,并结合Matlab、Excel和Origin等软件对这些数据进行处理分析。实验结果表明:Cu纳米颗粒的空间分布遵循Anisimov气体膨胀模型,大部分的粒子主要集中在基片与溅射源中心线附近在小立体角度(θ<30°)范围扩散。最后,实验选取合适立体溅射角度(θ≈30°),能量密度约为0.72 J/cm2时,在不同曝光时间条件下溅射Cu纳米颗粒薄膜,并采用原子力显微镜(AFM)表征了膜厚变化情形,综合分析了纳米颗粒薄膜空间沉积成膜的过程和规律,为后继数值模拟分析提供了实验验证依据。