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无磨料复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制
被引量:
3
1
作者
李炎
刘玉岭
+5 位作者
卜小峰
孙铭斌
杨志欣
张男男
张玉峰
程川
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第5期61-65,共5页
目的研究一种复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制效果。方法通过单因素实验优化无磨料复合清洗剂组成和相应的清洗工艺,并通过研究优化的清洗条件对不同类型铜晶圆表面划伤、残留颗粒的清洗效果,验证该清洗剂的清洗性能。结果优化的清...
目的研究一种复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制效果。方法通过单因素实验优化无磨料复合清洗剂组成和相应的清洗工艺,并通过研究优化的清洗条件对不同类型铜晶圆表面划伤、残留颗粒的清洗效果,验证该清洗剂的清洗性能。结果优化的清洗剂组分和清洗工艺为:金属离子螯合剂体积分数0.025%,表面活性剂体积分数0.1%;清洗剂温度30℃,清洗剂流量3 L/min。优化的复合清洗剂能大幅度降低铜膜表面划伤和表面粗糙度,对铜膜表面残留的颗粒有较强的去除作用。结论优化的复合清洗剂能够对不同类型铜晶圆表面缺陷进行大幅度的修正,研究成果对提高大规模生产中晶圆的成品率有一定的指导作用。
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关键词
复合清洗剂
大分子螯合剂
表面活性剂
铜膜
腐蚀速率
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职称材料
乙醇对低磨料CMP过程中铜膜凹凸处去除速率选择性的影响
被引量:
1
2
作者
李炎
刘玉岭
+1 位作者
卜小峰
王傲尘
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期95-101,共7页
根据相似相容原理,在低磨料浓度CMP过程中,利用乙醇对多羟多胺螯合剂的降黏特性来提高铜膜表面凹凸处抛光速率的选择性。根据抛光液中各组分浓度对动态和静态条件下铜膜去除速率的影响获得乙醇加入量的最大值;通过螯合剂、氧化剂与乙醇...
根据相似相容原理,在低磨料浓度CMP过程中,利用乙醇对多羟多胺螯合剂的降黏特性来提高铜膜表面凹凸处抛光速率的选择性。根据抛光液中各组分浓度对动态和静态条件下铜膜去除速率的影响获得乙醇加入量的最大值;通过螯合剂、氧化剂与乙醇对动静态条件下铜膜去除速率的相互作用关系来确定各组分的最佳浓度。最终得出当各组的体积分数为:磨料0.5%,螯合剂10%,H2O20.5%,乙醇1%时,铜膜表面拥有最大的凸处和凹处速率比。在MIT 854铜布线片上进行平坦化试验,结果表明:该抛光液能够很大程度的减小布线表面的高低差,拥有较强的平坦化能力。红外光谱检测结果表明:在CMP过程中,铜膜表面不会生成副产物乙酸乙酯。上述结果进一步证实了该抛光液的实用性。
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关键词
化学机械抛光
乙醇
速率选择性
静态腐蚀
乙酸乙酯
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职称材料
基于人机工学的左右分区床垫创新设计研究
被引量:
6
3
作者
肖飞
吴登高
《家具与室内装饰》
2020年第9期70-72,共3页
不同体型的人群对床垫的软硬度需求不同,进行床垫设计时要充分考虑人的不同需求,除了在长度方向上进行分区设计之外,还应该在宽度即左右方向上进行分区设计。左右分区床垫的设计可通过床垫的内胆结构和连接方式、模块化设计、智能化设...
不同体型的人群对床垫的软硬度需求不同,进行床垫设计时要充分考虑人的不同需求,除了在长度方向上进行分区设计之外,还应该在宽度即左右方向上进行分区设计。左右分区床垫的设计可通过床垫的内胆结构和连接方式、模块化设计、智能化设计等不同方式进行设计创新,以满足消费升级背景下不同人群对床垫软硬度及舒适度的新需求。
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关键词
人体工学
左右分区床垫
创新设计
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职称材料
基于IPD的家具产品研发模式研究
被引量:
1
4
作者
肖飞
吴登高
贾宇轩
《家具与室内装饰》
北大核心
2022年第11期84-90,共7页
IPD即集成产品开发模式,是一种强调满足客户需求为最终目的的先进产品创新管理模式。本文介绍了集成产品开发模式IPD的基本概念、核心思想和研发流程,通过分析基于IPD的家具产品设计创新的全过程,从需求探索、需求定义、产品定位、概念...
IPD即集成产品开发模式,是一种强调满足客户需求为最终目的的先进产品创新管理模式。本文介绍了集成产品开发模式IPD的基本概念、核心思想和研发流程,通过分析基于IPD的家具产品设计创新的全过程,从需求探索、需求定义、产品定位、概念设计、产品开发等环节解析了IPD模式在家具产品研发中的应用,并得出基于IPD的家具产品研发模式能有效解决家具市场需求与产品匹配度不高以及家具产品研发效率低等问题。
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关键词
集成产品开发
用户需求
家具
创新设计
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职称材料
牛奶纤维理化性能与可染性的研究
5
作者
李炎
张海燕
+3 位作者
卜小峰
张男男
张玉峰
程川
《天津纺织科技》
2014年第2期18-22,共5页
通过对牛奶纤维基本物理化学性质的研究,论述了牛奶纤维在纺织和印染方面的先进性和适用性。根据不同类型染料对牛奶纤维的上染情况,确定了适合上染牛奶纤维的染料种类。通过分析不同类型染料的染色速率曲线,得到了最佳染色工艺。根据...
通过对牛奶纤维基本物理化学性质的研究,论述了牛奶纤维在纺织和印染方面的先进性和适用性。根据不同类型染料对牛奶纤维的上染情况,确定了适合上染牛奶纤维的染料种类。通过分析不同类型染料的染色速率曲线,得到了最佳染色工艺。根据不同染料的染色牢度和牛奶纤维染色后颜色的鲜艳程度,进一步证实了该工艺适合于牛奶纤维的染色过程,这对于最后得到合理的纺织品开发方案亦是不可或缺。
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关键词
牛奶纤维
羊毛
理化性能
可染性
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职称材料
现代家具企业新产品开发策略研究
被引量:
7
6
作者
吴登高
肖飞
《家具与室内装饰》
2019年第6期56-58,共3页
家具新产品开发策略是家具企业有效进行新产品开发的重要保证,本文提出了现代家具企新产品开发需秉承的关键原则,并从如何确定目标市场、探索用户需求、确定产品概念、实施产品开发等方面重新梳理了现代家具企业新产品开发的策略,具有...
家具新产品开发策略是家具企业有效进行新产品开发的重要保证,本文提出了现代家具企新产品开发需秉承的关键原则,并从如何确定目标市场、探索用户需求、确定产品概念、实施产品开发等方面重新梳理了现代家具企业新产品开发的策略,具有一定的指导意义.
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关键词
家具企业
新产品
开发
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职称材料
从生产商变成消费商
7
作者
姚吉庆
《当代党员》
2016年第1期37-37,共1页
新消费时代,我把它定义为三个关键词。第一个:精英。未来消费潮流的引导是由精英人群主导的。第二个:圈层。最近三五年,消费方式发生了非常大的变化,大众消费正在向圈层消费过渡,不同圈层有不同的消费方式。第三个:个性化。未来...
新消费时代,我把它定义为三个关键词。第一个:精英。未来消费潮流的引导是由精英人群主导的。第二个:圈层。最近三五年,消费方式发生了非常大的变化,大众消费正在向圈层消费过渡,不同圈层有不同的消费方式。第三个:个性化。未来的消费一定是个性化的。产品功能和性价比已经是过去式了,现在是产品体验的时代。
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关键词
消费时代
生产商
消费方式
产品功能
消费潮流
大众消费
个性化
关键词
原文传递
题名
无磨料复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制
被引量:
3
1
作者
李炎
刘玉岭
卜小峰
孙铭斌
杨志欣
张男男
张玉峰
程川
机构
河北工业大学微电子研究所
慕思寝室用品有限公司
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第5期61-65,共5页
基金
国家中长期科技发展规划02科技重大专项(2009ZX02308)
河北省自然科学基金(E2013202247
+1 种基金
F2012202094)
河北省教育厅基金(2011128)~~
文摘
目的研究一种复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制效果。方法通过单因素实验优化无磨料复合清洗剂组成和相应的清洗工艺,并通过研究优化的清洗条件对不同类型铜晶圆表面划伤、残留颗粒的清洗效果,验证该清洗剂的清洗性能。结果优化的清洗剂组分和清洗工艺为:金属离子螯合剂体积分数0.025%,表面活性剂体积分数0.1%;清洗剂温度30℃,清洗剂流量3 L/min。优化的复合清洗剂能大幅度降低铜膜表面划伤和表面粗糙度,对铜膜表面残留的颗粒有较强的去除作用。结论优化的复合清洗剂能够对不同类型铜晶圆表面缺陷进行大幅度的修正,研究成果对提高大规模生产中晶圆的成品率有一定的指导作用。
关键词
复合清洗剂
大分子螯合剂
表面活性剂
铜膜
腐蚀速率
Keywords
composite cleaning agent
macromolecular chelating agent
surfaetant
copper films
corrosion rate
分类号
TG175 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
乙醇对低磨料CMP过程中铜膜凹凸处去除速率选择性的影响
被引量:
1
2
作者
李炎
刘玉岭
卜小峰
王傲尘
机构
河北工业大学微电子技术与材料研究所
慕思寝室用品有限公司
出处
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期95-101,共7页
基金
国家中长期科技发展规划02科技重大专项(2009ZX02308)
河北省自然科学基金(E2013202247
+1 种基金
F2012202094)
河北省教育厅基金(2011128)
文摘
根据相似相容原理,在低磨料浓度CMP过程中,利用乙醇对多羟多胺螯合剂的降黏特性来提高铜膜表面凹凸处抛光速率的选择性。根据抛光液中各组分浓度对动态和静态条件下铜膜去除速率的影响获得乙醇加入量的最大值;通过螯合剂、氧化剂与乙醇对动静态条件下铜膜去除速率的相互作用关系来确定各组分的最佳浓度。最终得出当各组的体积分数为:磨料0.5%,螯合剂10%,H2O20.5%,乙醇1%时,铜膜表面拥有最大的凸处和凹处速率比。在MIT 854铜布线片上进行平坦化试验,结果表明:该抛光液能够很大程度的减小布线表面的高低差,拥有较强的平坦化能力。红外光谱检测结果表明:在CMP过程中,铜膜表面不会生成副产物乙酸乙酯。上述结果进一步证实了该抛光液的实用性。
关键词
化学机械抛光
乙醇
速率选择性
静态腐蚀
乙酸乙酯
Keywords
chemical mechanical polishing(CMP)
ethanol
rate selectivity
static corrosion
ethyl acetate
分类号
TG175 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
基于人机工学的左右分区床垫创新设计研究
被引量:
6
3
作者
肖飞
吴登高
机构
东莞职业技术学院艺术设计系
东莞
慕思寝室用品有限公司
出处
《家具与室内装饰》
2020年第9期70-72,共3页
基金
广东省普通高校特色创新类项目(2019GWTSCX002)
东莞市哲学社会科学规划课题(2018JY06)。
文摘
不同体型的人群对床垫的软硬度需求不同,进行床垫设计时要充分考虑人的不同需求,除了在长度方向上进行分区设计之外,还应该在宽度即左右方向上进行分区设计。左右分区床垫的设计可通过床垫的内胆结构和连接方式、模块化设计、智能化设计等不同方式进行设计创新,以满足消费升级背景下不同人群对床垫软硬度及舒适度的新需求。
关键词
人体工学
左右分区床垫
创新设计
Keywords
Ergonomics
left and right zone mattress
innovative design
分类号
TS664.01 [轻工技术与工程]
下载PDF
职称材料
题名
基于IPD的家具产品研发模式研究
被引量:
1
4
作者
肖飞
吴登高
贾宇轩
机构
东莞职业技术学院
广东林氏木业家居
有限公司
东莞
慕思寝室用品有限公司
出处
《家具与室内装饰》
北大核心
2022年第11期84-90,共7页
基金
广东省普通高校特色创新类项目(2019GWTSCX002)
广东省教育厅2022年度重点领域专项项目(2022ZDZX4114)。
文摘
IPD即集成产品开发模式,是一种强调满足客户需求为最终目的的先进产品创新管理模式。本文介绍了集成产品开发模式IPD的基本概念、核心思想和研发流程,通过分析基于IPD的家具产品设计创新的全过程,从需求探索、需求定义、产品定位、概念设计、产品开发等环节解析了IPD模式在家具产品研发中的应用,并得出基于IPD的家具产品研发模式能有效解决家具市场需求与产品匹配度不高以及家具产品研发效率低等问题。
关键词
集成产品开发
用户需求
家具
创新设计
Keywords
Integrated product development
user needs
furniture
innovative design
分类号
TS664.1 [轻工技术与工程]
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职称材料
题名
牛奶纤维理化性能与可染性的研究
5
作者
李炎
张海燕
卜小峰
张男男
张玉峰
程川
机构
河北工业大学微电子研究所
河北科技大学纺织服装学院
慕思寝室用品有限公司
出处
《天津纺织科技》
2014年第2期18-22,共5页
文摘
通过对牛奶纤维基本物理化学性质的研究,论述了牛奶纤维在纺织和印染方面的先进性和适用性。根据不同类型染料对牛奶纤维的上染情况,确定了适合上染牛奶纤维的染料种类。通过分析不同类型染料的染色速率曲线,得到了最佳染色工艺。根据不同染料的染色牢度和牛奶纤维染色后颜色的鲜艳程度,进一步证实了该工艺适合于牛奶纤维的染色过程,这对于最后得到合理的纺织品开发方案亦是不可或缺。
关键词
牛奶纤维
羊毛
理化性能
可染性
分类号
TS193.841 [轻工技术与工程—纺织化学与染整工程]
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职称材料
题名
现代家具企业新产品开发策略研究
被引量:
7
6
作者
吴登高
肖飞
机构
东莞
慕思寝室用品有限公司
东莞职业技术学院
出处
《家具与室内装饰》
2019年第6期56-58,共3页
基金
东莞市2018年哲学社会科学规划课题《粤港澳大湾区背景下东莞家具产业突围策略研究》(2018JY06)
广东省高职教育艺术设计类专业教学指导委员会课题《基于互联网+的家具艺术设计专业中高职一体化课程体系重构》
东莞职业技术学院JPJC201901《家具造型设计项目化教程》
文摘
家具新产品开发策略是家具企业有效进行新产品开发的重要保证,本文提出了现代家具企新产品开发需秉承的关键原则,并从如何确定目标市场、探索用户需求、确定产品概念、实施产品开发等方面重新梳理了现代家具企业新产品开发的策略,具有一定的指导意义.
关键词
家具企业
新产品
开发
Keywords
Furniture enterprises
New product
Development
分类号
TS664.0 [轻工技术与工程]
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职称材料
题名
从生产商变成消费商
7
作者
姚吉庆
机构
慕思寝室用品有限公司
出处
《当代党员》
2016年第1期37-37,共1页
文摘
新消费时代,我把它定义为三个关键词。第一个:精英。未来消费潮流的引导是由精英人群主导的。第二个:圈层。最近三五年,消费方式发生了非常大的变化,大众消费正在向圈层消费过渡,不同圈层有不同的消费方式。第三个:个性化。未来的消费一定是个性化的。产品功能和性价比已经是过去式了,现在是产品体验的时代。
关键词
消费时代
生产商
消费方式
产品功能
消费潮流
大众消费
个性化
关键词
分类号
F723 [经济管理—市场营销]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
无磨料复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制
李炎
刘玉岭
卜小峰
孙铭斌
杨志欣
张男男
张玉峰
程川
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
3
下载PDF
职称材料
2
乙醇对低磨料CMP过程中铜膜凹凸处去除速率选择性的影响
李炎
刘玉岭
卜小峰
王傲尘
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
1
下载PDF
职称材料
3
基于人机工学的左右分区床垫创新设计研究
肖飞
吴登高
《家具与室内装饰》
2020
6
下载PDF
职称材料
4
基于IPD的家具产品研发模式研究
肖飞
吴登高
贾宇轩
《家具与室内装饰》
北大核心
2022
1
下载PDF
职称材料
5
牛奶纤维理化性能与可染性的研究
李炎
张海燕
卜小峰
张男男
张玉峰
程川
《天津纺织科技》
2014
0
下载PDF
职称材料
6
现代家具企业新产品开发策略研究
吴登高
肖飞
《家具与室内装饰》
2019
7
下载PDF
职称材料
7
从生产商变成消费商
姚吉庆
《当代党员》
2016
0
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