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井口除砂器抗冲蚀性能评价分析
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作者 冯春宇 王臻 +3 位作者 赵琦璘 罗晓龙 贵恒 陈渡 《材料保护》 CAS CSCD 2024年第1期204-211,共8页
含砂天然气对井口除砂器部件会造成严重的冲蚀进而降低开采效率,并且留下安全隐患。针对除砂器关键部件冲蚀严重的问题,从冲蚀角度和热处理2个方面研究其关键部件的耐冲蚀材料42CrMo、45钢、2Cr13、20CrMnTi和H13(4Cr5MoSiV1)的抗冲蚀... 含砂天然气对井口除砂器部件会造成严重的冲蚀进而降低开采效率,并且留下安全隐患。针对除砂器关键部件冲蚀严重的问题,从冲蚀角度和热处理2个方面研究其关键部件的耐冲蚀材料42CrMo、45钢、2Cr13、20CrMnTi和H13(4Cr5MoSiV1)的抗冲蚀性能。首先搭建冲蚀试验平台进行了冲蚀模拟试验,其次利用扫描电镜观察靶材冲蚀后的微观形貌,探讨冲蚀磨损机理。结果表明:当冲蚀角在30°~90°时,冲蚀率随冲蚀角的增加而减小;并非所有材料经热处理都能提高抗冲蚀性能;调质状态的2Cr13的抗冲蚀性能最优;调质状态的2Cr13、45钢和出厂状态的H13倾斜冲击时磨损形式以切削为主,垂直冲击时磨损形式为磨料冲击使靶材发生塑性变形而脱落为主。本试验为除砂器耐蚀件选材提供了参考。 展开更多
关键词 除砂器 冲蚀试验 冲蚀角度 热处理 抗冲蚀
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构树豆渣饼干制作工艺优化
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作者 陶瑞霄 孙腾莲 +2 位作者 李雨翾 彭馨悦 李旭田 《现代食品》 2024年第7期74-77,共4页
以豆渣添加量、构树叶粉添加量、低筋面粉添加量和白砂糖添加量为研究因素,以感官评分为考察指标,采用单因素和正交试验优化构树豆渣饼的制作工艺。结果表明,构树豆渣饼干的最佳配方为豆渣添加量50%、低筋面粉添加量30%、构树叶粉添加... 以豆渣添加量、构树叶粉添加量、低筋面粉添加量和白砂糖添加量为研究因素,以感官评分为考察指标,采用单因素和正交试验优化构树豆渣饼的制作工艺。结果表明,构树豆渣饼干的最佳配方为豆渣添加量50%、低筋面粉添加量30%、构树叶粉添加量5%和白砂糖添加量20%,此配方下制作的饼干酥脆香口、口感饱满,有特殊的豆香味和清香味。 展开更多
关键词 豆渣 构树 制作工艺
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液晶显示企业数字化转型的路径研究
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作者 吴明佳 韩静 +1 位作者 宋晓卉 陈佳 《中国管理信息化》 2024年第6期94-96,共3页
企业能够通过建立强大的、基于流程的数字化运营管理体系提升内部运营管理效率,打造超越同行的内在竞争软实力。液晶显示作为智能交互的重要端口,已成为承载超高清视频、物联网和虚拟现实等新兴产业的重要支撑与技术基础。为实现数字经... 企业能够通过建立强大的、基于流程的数字化运营管理体系提升内部运营管理效率,打造超越同行的内在竞争软实力。液晶显示作为智能交互的重要端口,已成为承载超高清视频、物联网和虚拟现实等新兴产业的重要支撑与技术基础。为实现数字经济与实体经济的有效融合,在产业化过程中降低企业固有成本,从而制定更具竞争力的价格,顺利完成数字化转型,是当前液晶显示企业经济发展的首要问题。因此,文章立足液晶显示企业,剖析其数字化转型现状,阐述其数字化转型路径,以期为液晶显示企业的数字化转型提出相应的对策和建议。 展开更多
关键词 液晶显示企业 数字化转型 数字经济
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基于3D打印构筑的高面间热导率氮化硼陶瓷的制备
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作者 肖兵 任燕 +8 位作者 郑新梅 赵阳 杜雨恒 韩锐 赵必科 陈刚 黄冰雪 李光照 彭必友 《功能材料》 CAS CSCD 北大核心 2023年第7期7221-7229,共9页
氮化硼(BN)陶瓷具有高纵横比、耐高温、高导热和电绝缘性等优异性能,广泛应用于电子信息、航天航空、冶金、机械等领域。3D打印技术与传统加工方式相比具有低成本和省时等特点,是制备具有复杂三维结构陶瓷制件的重要成型技术。为此,基... 氮化硼(BN)陶瓷具有高纵横比、耐高温、高导热和电绝缘性等优异性能,广泛应用于电子信息、航天航空、冶金、机械等领域。3D打印技术与传统加工方式相比具有低成本和省时等特点,是制备具有复杂三维结构陶瓷制件的重要成型技术。为此,基于自主研发的气压式新型直写3D打印材料成型平台,使用BN和聚乙烯醇(PVA)作为原料和粘结剂,制备了不同BN含量的陶瓷浆料,利用逐层堆积原理,设计并制备具有不同三维结构的陶瓷预制件,通过改变浆料的流变学特性,在打印过程中实现了BN二维纳米片在剪切力作用下的取向,得到了高面间热导率的陶瓷材料。研究了BN含量对陶瓷制件成型质量的影响,并且采用了XRD和SEM对打印得到的陶瓷材料的结构和微观形貌进行了表征。结果表明,BN/PVA 85浆料有着良好的剪切变稀特性和黏弹性,在线性黏弹性区的屈服应力达到240 Pa,适配于直写成型3D打印技术。BN在制件内部的水平取向度提高有助于增强陶瓷材料的面间热导率,其中,BN/PVA 85陶瓷制件的面间热导率约为4.3 W/(m·K)。 展开更多
关键词 导热 3D打印 直写成型 氮化硼 聚乙烯醇
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喷墨打印制备全氟化离聚物掺杂空穴注入层有机发光二极管阵列
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作者 陈文斌 张东煜 《辽宁科技大学学报》 CAS 2023年第5期349-353,共5页
为了提升印刷器件的性能,从印刷OLED显示像素制备的需求角度出发,采用喷墨打印工艺在像素坑中精准沉积含全氟化离子交联聚合物掺杂的空穴注入层PEDOT∶PSS∶PFI来提高空穴注入效率,而后在其上蒸镀其他功能层得到OLED像素阵列器件。与喷... 为了提升印刷器件的性能,从印刷OLED显示像素制备的需求角度出发,采用喷墨打印工艺在像素坑中精准沉积含全氟化离子交联聚合物掺杂的空穴注入层PEDOT∶PSS∶PFI来提高空穴注入效率,而后在其上蒸镀其他功能层得到OLED像素阵列器件。与喷墨打印制备的PEDOT∶PSS空穴注入层器件对比发现,含全氟化离子交联聚合物掺杂空穴注入层的器件具有较好的发光均匀性,器件最大亮度达到4325 cd/m2,最大电流效率达到5.5 cd/A。研究结果为多层印刷OLED显示器件的制备积累经验。 展开更多
关键词 有机发光二极管 显示像素 喷墨打印 空穴注入层
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浅谈数字化时代的项目风险管理
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作者 杨永菊 韩静 +2 位作者 张夜佳 陈佳 吴明佳 《中文科技期刊数据库(全文版)经济管理》 2023年第2期66-69,共4页
创新是推动社会经济发展的不竭动力,企业的发展离不开技术和服务的创新,在电子信息爆发式增长的数字化时代,企业对应的产品和服务项目,自然离不开全过程数字化管理体系,随之项目管理在时代的发展中,其管理方式和应用与过去相比有很大的... 创新是推动社会经济发展的不竭动力,企业的发展离不开技术和服务的创新,在电子信息爆发式增长的数字化时代,企业对应的产品和服务项目,自然离不开全过程数字化管理体系,随之项目管理在时代的发展中,其管理方式和应用与过去相比有很大的不同,对企业创新能力提出了更高的要求,传统的管理模式已经不满足当前的需求,风险的预测和管控前瞻性要求更高。本文结合企业本身的数字化转型,通过对项目中的数字化风险管控方式进行阐述,以打破企业内外部环境的制约,避免陷入困境,强调提高企业的项目风险管控能力的重要性。 展开更多
关键词 数字化 创新 项目管理 风险管理 事态升级
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项目集管理在液晶显示行业中的应用与实践
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作者 陈佳 韩静 +2 位作者 杨永菊 张夜佳 吴明佳 《中文科技期刊数据库(全文版)经济管理》 2023年第2期70-72,共3页
随着社会经济的发展,人们对液晶显示产品的需求快速增长,液晶显示企业也进行了不断的扩张,一家液晶显示企业往往拥有多个工厂。传统的液晶显示产品开发业务模式中产品全工艺的生产制作归属于一个工厂,由于工厂资源分配需求,业务调整等因... 随着社会经济的发展,人们对液晶显示产品的需求快速增长,液晶显示企业也进行了不断的扩张,一家液晶显示企业往往拥有多个工厂。传统的液晶显示产品开发业务模式中产品全工艺的生产制作归属于一个工厂,由于工厂资源分配需求,业务调整等因素,出现了产品的生产制作由多个工厂合作的业务模式,随着跨工厂合作业务模式的产品日益增多,传统的单工厂项目管理模式已无法满足跨工厂产品项目管理需求。本文将结合液晶显示产品的特点,阐述项目集管理模式在液晶显示企业中的应用。 展开更多
关键词 项目集管理 液晶显示 管理模式
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卫生纸机压榨部运行参数及能效关系分析与优化 被引量:3
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作者 马文明 沈天宇 《中国造纸学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第2期47-52,共6页
通过对纸机压榨部压力和压榨脱水原理的分析,得到出压榨部纸幅干度可作为压榨部的能耗指标,同时确定压榨线压力和纸机车速是压榨部能耗的主要影响因素。结合纸机实际生产测试并记录压榨脱水数据,绘制测试数据曲线图并拟合压榨线压力、... 通过对纸机压榨部压力和压榨脱水原理的分析,得到出压榨部纸幅干度可作为压榨部的能耗指标,同时确定压榨线压力和纸机车速是压榨部能耗的主要影响因素。结合纸机实际生产测试并记录压榨脱水数据,绘制测试数据曲线图并拟合压榨线压力、纸机车速和出压榨部纸幅干度三者之间的函数关系,最终确定压榨线压力和纸机车速的最优取值范围。通过对测试数据的分析和拟合,控制压榨线压力在90kN/m、纸机车速在1075m/min时,纸幅质量可满足正常生产的要求,还可以节约2.1%的电能,实现卫生纸机压榨部的能耗优化。 展开更多
关键词 压榨部 纸幅干度 压榨线压力 纸机车速 能耗优化
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张紧器-高压隔水管耦合系统横向振动特性研究 被引量:1
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作者 王川 方海辉 +2 位作者 侯雯 黎俊 张鹏 《工程设计学报》 CSCD 北大核心 2020年第3期380-388,共9页
为了准确分析张紧器-高压隔水管耦合动力学特性,考虑平台漂移以及张紧器、海水阻尼等影响,基于动力学基本原理建立深水钻井工况下张紧器-高压隔水管横向振动力学仿真模型,并在MATLAB中利用有限差分法进行离散求解,分析了管内高压流体、... 为了准确分析张紧器-高压隔水管耦合动力学特性,考虑平台漂移以及张紧器、海水阻尼等影响,基于动力学基本原理建立深水钻井工况下张紧器-高压隔水管横向振动力学仿真模型,并在MATLAB中利用有限差分法进行离散求解,分析了管内高压流体、张紧器耦合作用、海流流速、平台漂移量、张紧器张力比等因素对高压隔水管和常规隔水管横向振动的影响。仿真结果表明:在管内高压流体、张紧器耦合作用的影响下,高压隔水管的横向振动位移减小、应力增大;随着海流流速的增大,隔水管的横向振动位移增大,位于海面附近的隔水管的横向振动应力增大,隔水管底部的横向振动应力基本不受海流流速的影响;随着平台漂移量的增大,隔水管的横向振动位移增大,且越靠近海面变化越明显,但横向振动应力基本保持不变;随着张紧器张力比的增大,隔水管横向振动位移减小、应力增大,且对于常规隔水管,易产生应力集中。研究结果可为深水钻井工况下张紧器-高压隔水管的耦合振动特性分析提供理论依据。 展开更多
关键词 高压隔水管 张紧器 耦合仿真 动力学 有限差分法
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Cu_2O/CNTs复合材料的制备及其光催化性能 被引量:4
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作者 刘钦 姚巡 +5 位作者 张博健 刘飞 刘洋 李鹏 薛睿庭 范希梅 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2019年第3期459-466,共8页
以乙二醇为还原剂,采用溶剂热法在混酸(V_(H_2SO_4)/V_(HNO_3)=3∶1)超声处理的碳纳米管(CNTs)表面负载氧化亚铜(Cu_2O),通过改变CNTs的含量制备出球形Cu_2O/CNTs复合材料。采用X射线衍射(XRD)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)、扫描电镜(SEM... 以乙二醇为还原剂,采用溶剂热法在混酸(V_(H_2SO_4)/V_(HNO_3)=3∶1)超声处理的碳纳米管(CNTs)表面负载氧化亚铜(Cu_2O),通过改变CNTs的含量制备出球形Cu_2O/CNTs复合材料。采用X射线衍射(XRD)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)、扫描电镜(SEM)、能谱分析(EDS)、N_2吸附-脱附、紫外-可见光漫反射(DRS)、有机总碳量(TOC)等对Cu_2O/CNTs进行表征;研究CNTs含量对Cu_2O/CNTs复合材料的结构、形貌、比表面积与孔径、光吸收特性的影响;结合光催化机理讨论CNTs对Cu_2O/CNTs光催化性能的影响。结果表明,当CNTs含量为0.2 g时,Cu_2O/CNTs的光催化性能最佳,在可见光照射60 min后,对甲基橙的降解率达到92.1%。 展开更多
关键词 催化作用 氧化亚铜 碳纳米管 可见光照射 甲基橙
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基于西门子PLC的超纯水控制系统设计 被引量:4
11
作者 张凤西 郑萍 +2 位作者 冯济武 吴晨 刘江 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2014年第2期112-117,142,共7页
根据RO-混床超纯水制备的最新工艺,讨论了其控制系统的集成方案和构架,采用分布式I/O和S7-400H集中监控的方式进行了控制系统设计,在此基础上选择了基于S7-400H的硬件冗余方式进行系统的冗余设计;采用设备层、控制层、及基于西门子组态... 根据RO-混床超纯水制备的最新工艺,讨论了其控制系统的集成方案和构架,采用分布式I/O和S7-400H集中监控的方式进行了控制系统设计,在此基础上选择了基于S7-400H的硬件冗余方式进行系统的冗余设计;采用设备层、控制层、及基于西门子组态软件WinCC的监控管理层的典型的三层网络控制系统,且通过OPC方式将超纯水控制系统组态到整个工厂的控制系统中,成为整个工厂控制系统的一个子系统,方便企业级管理。并给出了控制系统的硬件设计、软件编程以及基于Intouch组态软件的上位监控系统。经过4年的实际运行,该超纯水自动化系统工作稳定可靠,完全满足要求。 展开更多
关键词 超纯水处理 PLC 上位监控 现场总线 冗余 OPC SERVER
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PLC冗余控制在超纯水控制系统中的应用 被引量:7
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作者 张凤西 郑萍 +2 位作者 吴晨 冯济武 刘江 《自动化与仪表》 北大核心 2013年第11期44-47,共4页
针对某TFT(thin film transistor)-LCD厂超纯水制造系统工艺需求,采用分布式I/O和S7-400H的集中监控的方式进行了控制系统设计,在此基础上选择了基于S7-400H的硬件冗余方式进行系统的冗余设计,并给出了主机架电源冗余、PLC处理器冗余、... 针对某TFT(thin film transistor)-LCD厂超纯水制造系统工艺需求,采用分布式I/O和S7-400H的集中监控的方式进行了控制系统设计,在此基础上选择了基于S7-400H的硬件冗余方式进行系统的冗余设计,并给出了主机架电源冗余、PLC处理器冗余、通信冗余(包括通讯接口、总线接头、总线电缆的冗余)等方面的冗余配置与设计,保证系统的可靠性和稳定性。经过4年的安全运行证明该系统完全满足设计要求。 展开更多
关键词 超纯水处理 冗余 组态 架构
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焊后热处理对Al-Zn-Mg合金焊接接头组织与性能的影响 被引量:4
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作者 杜春平 王培吉 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期2483-2492,共10页
采用金相、硬度、电导率、剥落腐蚀、电化学腐蚀以及透射电镜(TEM)观察等分析测试方法研究焊后热处理对Al-Zn-Mg合金组织与性能的影响。结果表明:Al-Zn-Mg合金焊接接头固溶区的硬度和耐腐蚀性能随焊后热处理时效时间的延长和温度的提高... 采用金相、硬度、电导率、剥落腐蚀、电化学腐蚀以及透射电镜(TEM)观察等分析测试方法研究焊后热处理对Al-Zn-Mg合金组织与性能的影响。结果表明:Al-Zn-Mg合金焊接接头固溶区的硬度和耐腐蚀性能随焊后热处理时效时间的延长和温度的提高而提升。自然时效4 d+(130℃,24 h)和自然时效150 d+(150℃,2 h)两种焊后热处理工艺较佳:经自然时效4 d+(130℃,24 h)处理后,合金固溶区最大硬度由82.5HV提高至123HV,最大电导率由34%IACS提高至35.8%IACS,剥蚀等级提升至EA;经自然时效150 d+(150℃,2 h)处理后,合金固溶区最大硬度提高至110HV,最大电导率至34.7%IACS,剥蚀等级提升至N。合金焊接接头固溶区硬度与耐腐蚀性能提升的主要原因是焊后时效热处理促进焊接固溶区晶内析出相粗化,弥散分布,且晶界析出相呈不连续分布状。 展开更多
关键词 AL-ZN-MG合金 焊后热处理 时效 硬度 腐蚀性能
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基于PCA-Bayes的矿井水源类型在线判别模型 被引量:4
14
作者 李兴华 杨勇 《煤炭与化工》 CAS 2018年第2期21-25,共5页
水源类型的判别是煤矿突水后抢险决策的决定因素,对于煤矿的安全生产有重要意义。针对常规判别方法耗时较长的问题,提出了一种通过多类线性判别分析快速在线判别水源类型水质的在线分析系统,该系统采用荧光光谱、pH值、电导率等物理传... 水源类型的判别是煤矿突水后抢险决策的决定因素,对于煤矿的安全生产有重要意义。针对常规判别方法耗时较长的问题,提出了一种通过多类线性判别分析快速在线判别水源类型水质的在线分析系统,该系统采用荧光光谱、pH值、电导率等物理传感器。以淮南集团李家嘴煤矿为例,采用该系统现场采集13组水样数据,通过模型判别取得了良好的判别效果,实践表明该系统可作为在线水源识别的有效监测手段。 展开更多
关键词 水源识别 荧光光谱 水质在线分析系统
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TFT-LCD移动显示窄边框技术进展 被引量:18
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作者 刘亮 王向楠 +2 位作者 赵德友 王永茂 杨国波 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期228-232,共5页
窄边框显示屏因其简洁、美观、相同尺寸可视面积大等优点,已成为高品质显示屏的主要发展趋势。文章结合近几年平板显示展会信息,介绍了移动显示窄边框技术的进展。同时,介绍了实现窄边框所涉及到的显示屏电极线设计技术、边框胶固化工... 窄边框显示屏因其简洁、美观、相同尺寸可视面积大等优点,已成为高品质显示屏的主要发展趋势。文章结合近几年平板显示展会信息,介绍了移动显示窄边框技术的进展。同时,介绍了实现窄边框所涉及到的显示屏电极线设计技术、边框胶固化工艺和液晶滴下工艺及其改善,并对边框胶涂布和液晶滴下设备的改进方向进行了说明。 展开更多
关键词 移动显示 窄边框 边框胶涂布 液晶滴下
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Zara漏光和Rubbing Mura改善研究 被引量:17
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作者 石天雷 杨国波 +1 位作者 程石 杭苗 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期208-211,共4页
研究了摩擦强度对Zara漏光和摩擦痕Mura的影响。实验表明,当摩擦强度偏低时,Zara漏光易发生,而摩擦强度偏高时,则易引发摩擦痕Mura。通过选择合适的摩擦强度,可降低Zara漏光和摩擦痕Mura的发生率。另外,利用FIB对基板表面进行分析,找到... 研究了摩擦强度对Zara漏光和摩擦痕Mura的影响。实验表明,当摩擦强度偏低时,Zara漏光易发生,而摩擦强度偏高时,则易引发摩擦痕Mura。通过选择合适的摩擦强度,可降低Zara漏光和摩擦痕Mura的发生率。另外,利用FIB对基板表面进行分析,找到了FFS型产品容易发生Zara漏光和摩擦痕Mura的原因。 展开更多
关键词 LCD Zara漏光 摩擦痕Mura
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TFT-LCD中隔垫物密度与Push Mura和低温气泡的关系 被引量:13
17
作者 程石 王涛 +3 位作者 张敏 张铁军 史华威 杨国波 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期604-607,共4页
研究了隔垫物密度对Push Mura和低温气泡的影响。实验表明,通过增加隔垫物密度,能提高液晶面板的抗压强度,降低Push Mura发生率。但是,隔垫物密度过高会引起低温气泡发生。当隔垫物密度控制在适当范围内时,既能大大改善Push Mura,又不... 研究了隔垫物密度对Push Mura和低温气泡的影响。实验表明,通过增加隔垫物密度,能提高液晶面板的抗压强度,降低Push Mura发生率。但是,隔垫物密度过高会引起低温气泡发生。当隔垫物密度控制在适当范围内时,既能大大改善Push Mura,又不会发生低温气泡,且不影响产品的光学特性。 展开更多
关键词 LCD 不良改善 隔垫物
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液晶显示器模组黑态均匀性改善研究 被引量:6
18
作者 李兴华 暴军萍 +1 位作者 徐兵 樊浩原 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期271-276,共6页
随着显示行业发展,市场对液晶显示品质提出了更高的要求,特别是车载等领域,背光亮度几乎在10 000cd/m2以上,此时显示装置的细微缺陷可能被凸显进而影响画面显示品质。黑态均匀性是液晶显示模组显示画质的重要指标,为提升液晶显示模组黑... 随着显示行业发展,市场对液晶显示品质提出了更高的要求,特别是车载等领域,背光亮度几乎在10 000cd/m2以上,此时显示装置的细微缺陷可能被凸显进而影响画面显示品质。黑态均匀性是液晶显示模组显示画质的重要指标,为提升液晶显示模组黑态均匀性,改善显示画质,特对可能造成黑态漏光的相应结构及设计进行研究。从液晶面板受外力方向,针对机构干涉及柔性电路板(FPC)应力两方面的影响因素设计实验,确定出利于提升黑态均匀性的设计方法或管控标准。实验结果表明,通过对背光及铁框平整度的管控及缓冲胶带优化可减少机构干涉应力,通过对FPC结构及外形设计优化可减少FPC弯折应力,通过玻璃厚度减薄及增大下偏光片尺寸可提升液晶面板抗变形能力,从而将模组黑态均匀性提升到80%以上。 展开更多
关键词 液晶显示器 黑态均匀性 机构干涉 FPC应力
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具有管控液晶面板设备工艺参数的制造执行系统的技术研究 被引量:6
19
作者 陈蔚 张雯旭 +1 位作者 冯举 张璞 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2016年第12期1118-1123,共6页
由于液晶显示行业材料成本高且生产工艺复杂,不同尺寸的产品需切换不同的工艺参数,频繁换模造成了对工艺参数难以把控,一旦出现将造成较大亏损。本文提出对制造执行系统MES进行模块增加,形成一种具有智能化管控工艺参数的设计方案。这... 由于液晶显示行业材料成本高且生产工艺复杂,不同尺寸的产品需切换不同的工艺参数,频繁换模造成了对工艺参数难以把控,一旦出现将造成较大亏损。本文提出对制造执行系统MES进行模块增加,形成一种具有智能化管控工艺参数的设计方案。这种新方案使得MES可以实时管控生产工艺参数,并提供后期数据分析,减少生产过程中的人为风险,以提高生产过程的稳定性。 展开更多
关键词 液晶显示 制造执行系统 工艺参数 实时管控
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TFT-LCD制造工艺中金属残留的解决方案 被引量:5
20
作者 蒋冬华 李淳东 李炳天 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期170-173,共4页
在TFT-LCD阵列的四次掩模技术中,复合层刻蚀是非常难控制的一道工序,最突出的问题是在复合层刻蚀后信号线的两边有金属残留,金属残留会对之后的绝缘层产生影响,导致断层等不良。调整复合层刻蚀工艺是目前解决金属残留问题的通用方法,但... 在TFT-LCD阵列的四次掩模技术中,复合层刻蚀是非常难控制的一道工序,最突出的问题是在复合层刻蚀后信号线的两边有金属残留,金属残留会对之后的绝缘层产生影响,导致断层等不良。调整复合层刻蚀工艺是目前解决金属残留问题的通用方法,但是都没有根本地解决这个问题。文章通过研究信号线刻蚀时间对复合层刻蚀后金属残留的影响,认为通过调整信号线的刻蚀时间能够根本解决复合层刻蚀后金属残留的问题,并且不会使金属线线宽超出控制范围。 展开更多
关键词 四次掩模 复合层 刻蚀 信号线 金属残留
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