便携式超景深3D显微镜的研究与开发

为实现现场无损细微缺陷实时Z向测量,进行了一种便携式超景深3D金相显微镜研发。详细阐述了设备的结构设计及理论,并通过测试证明了设备的性能可靠性。本研究为无损观察细微缺陷表观情况、确定缺陷等级以及测量缺陷3D尺寸实现定量分析提供了可靠的依据。