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多晶硅还原生产中变压器转档问题探讨
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作者 周兰林 《中国化工贸易》 2013年第10期133-133,共1页
多晶硅反应从栽体硅芯到硅棒的这一生产过程中由于温度和硅棒直径的变化,硅棒电阻率时刻在发生变化,使得还原电源变压器在转档过程中出现诸多问题。如变压器温度升高、转档电流波动、调功柜熔断器烧坏甚至无法顺利转档等,这些问题的... 多晶硅反应从栽体硅芯到硅棒的这一生产过程中由于温度和硅棒直径的变化,硅棒电阻率时刻在发生变化,使得还原电源变压器在转档过程中出现诸多问题。如变压器温度升高、转档电流波动、调功柜熔断器烧坏甚至无法顺利转档等,这些问题的出现严重影响了多晶硅还原反应的正常进行,导致硅棒生长异常、产量降低、物料利用率低等一系列问题。本文通过生产实际,通过工艺和设备的调整,来有效控制多晶硅还原炉电气转档。 展开更多
关键词 调功柜 电阻率 摩尔比 沉积功率
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