甲基异丙烯基酮在烷烴中的聚合反应及以其聚合物为基础的远紫外抗蚀剂

采用AIBN引发剂,在C_(6)-C_(12)烷烃中研究了甲基异丙烯基酮(MIPK)的聚合反应规律,结果表明MIPK的聚合反应速率,随着烷烃分子中碳原子数的增加而增加,但对聚合物的无显著影响。测定了PMIPK及增敏后聚合体的UV光谱、热稳定性以及光降解前和用氢灯辐照40、160分钟后的IR谱图。表明除了聚合物主链断裂之外,还有由于降解而产生的单体。用含有不同增敏剂的PMIPK制成了可以与不同波长光源的光谱主峰相匹配的远紫外抗蚀剂。以增敏的PMIPK涂在镀铬玻璃基片上,通过软接触分辨率板作远紫外曝光、显影、化学蚀刻,得到0.4μ的清晰线条。