芯片用电子化学品制造关键技术研究与工业应用

芯片是制造业强国的重要基石,电子化学品是芯片制造的核心材料,晶圆、光刻、刻蚀等全产业链离不开高纯电子化学品.本文介绍了高效分离元器件——BH填料的结构、性能以及在高纯电子化学品分离提纯中的应用.BH填料具有独特的折线式结构,其分离性能显著优于传统填料,成功工业化应用,生产出以电子级二氯二氢硅为代表的多种电子级化学品,并展望了未来的发展前景.