SiHCl_3流化床制备粒状多晶硅研究进展

综述了近年来关于三氯氢硅(Si HCl3)流化床制备颗粒状多晶硅工艺技术研究状况,详细介绍了国内外关于颗粒状多晶硅制备流化床设备的设计思路及制备情况,并讨论了反应器制备方法对产品纯度的影响,分析了"热壁流化床"的技术缺陷,"冷壁流化床"的技术优势,对下一步流化床技术发展进行了展望。