国产电子束正抗蚀剂的实用化研究

简述了电子束曝光技术及电子束抗蚀剂在微电子器件制造中的重要性,着重介绍了电子束正性抗蚀剂P(MMA-MAA)的研制过程及为使之达到实用化所进行的各项研究及其结果和应用情况。

纤维素醚基础知识——（三）非离子型纤维素醚

甲基纤维素（methyl cellulose,MC)是纤维素醚类中带有起支配作用的甲基取代基的最简单的形式。它包括甲基纤维素本身及其混合醚羟乙基甲基纤维素（HEMC），羟丙基甲基纤维素（HPMC），羟丁基甲基纤维素（HBMC），乙基甲基纤维素（EMC）和羧甲基甲基纤维素（CMMC），混合醚类所具有的性质与MC类似。在100度下水中的热凝胶作用与水溶性MC相同，在有机溶剂中的溶解性与DS＞2．4的高取代度MC相同。

逐步取消事业费、实现经济自立——1985年改革方案实施体会

《改革试点实施方案(一九八五年)》是我所贯彻十二届三中全会关于经济体制改革的决定和中央关于“科学技术要面向经济建设”的指导方针,从我所实际出发,通过三年的改革实践,经过广泛的讨论而制定出来的。

聚合物的老化

一、聚合物的光化学变化产生光化学变化的波长主要是1000A°～10000A°,自古以来,对于光化学变化有简单的定律,它有助于感性地理解光化学。 (1) Draper Grothus定律光的变化在投射的光量中只是由被吸收的光产生。