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超纯水精处理系统与水质评价
被引量:
2
1
作者
林耀泽
《洁净与空调技术》
2001年第2期2-6,32,共6页
以0.5μm技术之需而设的一套超纯水精处理系统为实例,介绍其工艺流程及其特点,给出各项水质参数的实测数据,进而述评≤0.25μm/8″线的水质评价项目及其限定值、分析手段和在线检测仪表。
关键词
超纯水
水质评价
在线检测仪表
下载PDF
职称材料
300mm晶圆线超纯水水质浅析
2
作者
林耀泽
《洁净与空调技术》
2008年第2期53-58,共6页
基于现代超纯水系统的若干实践,浅析现今超纯水水质的难点(TOC、SiO2、微粒的达标),述评300mm线水质要求上的现实性。
关键词
300mm晶圆线
超纯水
水质
总有机碳
微粒
可溶硅
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职称材料
题名
超纯水精处理系统与水质评价
被引量:
2
1
作者
林耀泽
机构
无锡市荷叶新村
出处
《洁净与空调技术》
2001年第2期2-6,32,共6页
文摘
以0.5μm技术之需而设的一套超纯水精处理系统为实例,介绍其工艺流程及其特点,给出各项水质参数的实测数据,进而述评≤0.25μm/8″线的水质评价项目及其限定值、分析手段和在线检测仪表。
关键词
超纯水
水质评价
在线检测仪表
Keywords
Ultrapure water Plishing Water quality Instrument
分类号
TQ085 [化学工程]
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职称材料
题名
300mm晶圆线超纯水水质浅析
2
作者
林耀泽
机构
江苏
无锡市荷叶新村
出处
《洁净与空调技术》
2008年第2期53-58,共6页
文摘
基于现代超纯水系统的若干实践,浅析现今超纯水水质的难点(TOC、SiO2、微粒的达标),述评300mm线水质要求上的现实性。
关键词
300mm晶圆线
超纯水
水质
总有机碳
微粒
可溶硅
Keywords
300mm wafer line
Ultra-pure water
Water quality
Total organic carbon
Particle
Silica
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
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1
超纯水精处理系统与水质评价
林耀泽
《洁净与空调技术》
2001
2
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职称材料
2
300mm晶圆线超纯水水质浅析
林耀泽
《洁净与空调技术》
2008
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