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钽电解电容器流动液赋能设备
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作者 孙敏 《电子元件与材料》 CAS CSCD 1990年第2期53-55,共3页
本文概括地介绍了在钽电解电容器赋能工艺中,采用赋能液流动的方式后,能改善钽阳极块Ta_2O_5膜形成质量。并对该设备结构性能作了简单介绍。
关键词 电解电容器 流动液 赋能设备
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