基于Fluent的批量型原子层沉积反应器流场分析及实验研究

目前批量原子层沉积反应器存在气体扩散不均、腔室利用率低、反应副产物残余等缺点,影响了沉积薄膜的质量,降低了生产效率。针对以上问题,利用Fluent软件建立起批量原子层沉积反应器的仿真模型,首先分析了反应器添加不同结构尺寸的匀气挡板对气体速度、浓度以及扩散时间的影响;其次分析了片架间的距离对气体速度的影响;并将Al2O3薄膜的均匀性实验结果与仿真模拟结果进行对比,验证了仿真模型的准确性与可靠性,为批量原子层沉积反应器的改进与优化设计提供了参考。