细晶陶瓷标准缺陷的激光扫描显微镜超声检测

用以确定细晶陶瓷缺陷尺寸的超声标准块的标准缺陷极小,其形状和表面不规则性必须精确测定。激光扫描显微镜能测量标准缺陷的深、宽和表面不规则性。试样表而无须预处理,即可观察到分辨力为0.3μm的标准缺陷三维图象。磁粉检验用的参考缺陷也可用此法测量。在评估确定缺陷尺寸用的标准块和参考块时,激光扫描显微镜是一种很有用的工具。