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凹凸结构纳米多孔氧化硅的制备
1
作者
蔡勇
孙志刚
+3 位作者
H.Akinaga
余海湖
顾尔丹
李咪
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第A06期2155-2157,共3页
采用金属辅助化学反应刻蚀法制备了具有凹凸结构的纳米多孔氧化硅,利用光学显微镜、原子力显微镜、扫描电子显微镜和透射电子显微镜等,研究了刻蚀时间对纳米多孔氧化硅形貌结构的影响。结果表明:刻蚀初期在强氧化性酸的作用下,硅表...
采用金属辅助化学反应刻蚀法制备了具有凹凸结构的纳米多孔氧化硅,利用光学显微镜、原子力显微镜、扫描电子显微镜和透射电子显微镜等,研究了刻蚀时间对纳米多孔氧化硅形貌结构的影响。结果表明:刻蚀初期在强氧化性酸的作用下,硅表面形成一层氧化硅薄膜,进一步刻蚀,氧化硅薄膜出现规则的周期性凹凸结构裂纹。最后展望了这种凹凸结构纳米多孔氧化硅的应用前景。
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关键词
制备
凹凸结构
多孔氧化硅
裂纹
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职称材料
题名
凹凸结构纳米多孔氧化硅的制备
1
作者
蔡勇
孙志刚
H.Akinaga
余海湖
顾尔丹
李咪
机构
武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室
日本产业综合研究所纳米研究部门
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第A06期2155-2157,共3页
基金
基金项目:教育部新世纪优秀人才计划资助项目(NCET-05-0659)
文摘
采用金属辅助化学反应刻蚀法制备了具有凹凸结构的纳米多孔氧化硅,利用光学显微镜、原子力显微镜、扫描电子显微镜和透射电子显微镜等,研究了刻蚀时间对纳米多孔氧化硅形貌结构的影响。结果表明:刻蚀初期在强氧化性酸的作用下,硅表面形成一层氧化硅薄膜,进一步刻蚀,氧化硅薄膜出现规则的周期性凹凸结构裂纹。最后展望了这种凹凸结构纳米多孔氧化硅的应用前景。
关键词
制备
凹凸结构
多孔氧化硅
裂纹
Keywords
preparation
convex-concavestructure
porous silica
crack
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
凹凸结构纳米多孔氧化硅的制备
蔡勇
孙志刚
H.Akinaga
余海湖
顾尔丹
李咪
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
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