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NO_2高选择性气敏元件及其表面修饰
被引量:
6
1
作者
黄忠宇
孙良彦
平田光寿
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1993年第4期10-14,共5页
本文报导了用WO_3气敏材料制作高灵敏度、高选择性N0_2气敏元件的研究结果,并利用修饰技术在元件特性的改善和提高方面做了初步实验,对元件敏感机理也做了初步探讨.结果表明,元件对N0_2具有高灵敏、高选择特性,元件阻值合适且响应恢复快...
本文报导了用WO_3气敏材料制作高灵敏度、高选择性N0_2气敏元件的研究结果,并利用修饰技术在元件特性的改善和提高方面做了初步实验,对元件敏感机理也做了初步探讨.结果表明,元件对N0_2具有高灵敏、高选择特性,元件阻值合适且响应恢复快,并有良好的抗湿度特性,通过对元件气氛处理、掺杂等表面修饰技术可明显提高元件的气敏特性.
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关键词
二氧化氮
气敏元件
表面修饰
下载PDF
职称材料
题名
NO_2高选择性气敏元件及其表面修饰
被引量:
6
1
作者
黄忠宇
孙良彦
平田光寿
机构
吉林
大学
电子
科学
系
日本千叶工业大学电子学系
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1993年第4期10-14,共5页
文摘
本文报导了用WO_3气敏材料制作高灵敏度、高选择性N0_2气敏元件的研究结果,并利用修饰技术在元件特性的改善和提高方面做了初步实验,对元件敏感机理也做了初步探讨.结果表明,元件对N0_2具有高灵敏、高选择特性,元件阻值合适且响应恢复快,并有良好的抗湿度特性,通过对元件气氛处理、掺杂等表面修饰技术可明显提高元件的气敏特性.
关键词
二氧化氮
气敏元件
表面修饰
Keywords
WO, gas sensor NO2 Surface decorating
分类号
TN379 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
NO_2高选择性气敏元件及其表面修饰
黄忠宇
孙良彦
平田光寿
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1993
6
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