基于立体成型法的微激励器静态特性分析

介绍了一种新型的微细加工方法 ,即微型立体成型法以及基于这种方法制造微型电容式激励器的工序步骤 ,详细分析了该激励器在静电力作用下的静态特性 ,导出了可动极板处于稳定平衡时的条件及在此条件下的线位移范围 ,给出了驱动电压与可动极板位移量之间的关系曲线 。

平面曝光型光造型装置的研究

微型光造型法的一个很大的缺点是构造物的制造时间长。为了解决这一问题 ,在报告微型光固化立体成型法现状的基础上 ,提出了一种新颖的平面曝光型光造型方案 ,设计并制作了实验装置 ,利用热敏色带制作微型平面掩膜 ,进行了平面固化成型实验。实验结果表明 ,利用平面曝光型光造型方案进行成型 ,单层硬化时间可缩短至 1 2 0