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金刚石涂层刀具开发中衬底与热丝距离的研究
1
作者
陈明
林伟民
大森整
《机械工程师》
2008年第3期23-23,共1页
1研究背景 金刚石涂层刀具在加工高硅铝合金、颗粒增强复合材料以及陶瓷等难加工材料时具有独特的优势。在金刚石涂层刀具制备中,刀具衬底表面的预处理和金刚石沉积工艺参数都会影响金刚石薄膜质量,进而影响刀具的切削性能。目前大...
1研究背景 金刚石涂层刀具在加工高硅铝合金、颗粒增强复合材料以及陶瓷等难加工材料时具有独特的优势。在金刚石涂层刀具制备中,刀具衬底表面的预处理和金刚石沉积工艺参数都会影响金刚石薄膜质量,进而影响刀具的切削性能。目前大量研究主要集中在衬底表面的预处理、碳源浓度、反应压力、偏压、衬底的温度控制等方面,而对于衬底与热丝之间的距离研究鲜有报道。
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关键词
金刚石涂层刀具
衬底表面
热丝
距离
颗粒增强复合材料
CVD装置
难加工材料
金刚石沉积
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职称材料
题名
金刚石涂层刀具开发中衬底与热丝距离的研究
1
作者
陈明
林伟民
大森整
机构
上海交通大
学
机械与动力
工
程
学
院
日本理化学研究所大森素形材工学研究室
出处
《机械工程师》
2008年第3期23-23,共1页
文摘
1研究背景 金刚石涂层刀具在加工高硅铝合金、颗粒增强复合材料以及陶瓷等难加工材料时具有独特的优势。在金刚石涂层刀具制备中,刀具衬底表面的预处理和金刚石沉积工艺参数都会影响金刚石薄膜质量,进而影响刀具的切削性能。目前大量研究主要集中在衬底表面的预处理、碳源浓度、反应压力、偏压、衬底的温度控制等方面,而对于衬底与热丝之间的距离研究鲜有报道。
关键词
金刚石涂层刀具
衬底表面
热丝
距离
颗粒增强复合材料
CVD装置
难加工材料
金刚石沉积
分类号
TG711 [金属学及工艺—刀具与模具]
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
金刚石涂层刀具开发中衬底与热丝距离的研究
陈明
林伟民
大森整
《机械工程师》
2008
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