金刚石涂层刀具开发中衬底与热丝距离的研究

1研究背景 金刚石涂层刀具在加工高硅铝合金、颗粒增强复合材料以及陶瓷等难加工材料时具有独特的优势。在金刚石涂层刀具制备中，刀具衬底表面的预处理和金刚石沉积工艺参数都会影响金刚石薄膜质量，进而影响刀具的切削性能。目前大量研究主要集中在衬底表面的预处理、碳源浓度、反应压力、偏压、衬底的温度控制等方面，而对于衬底与热丝之间的距离研究鲜有报道。