多晶硅生产废气回收处理工艺研究进展

阐述了多晶硅生产废气主要来源、组分、处理工艺及研究进展,提出了生产高品质多晶硅可选择的废气处理工艺。

流化床制备三氯氢硅工艺参数的优化

流化床制备三氯氢硅是多晶硅生产中比较常见的工艺方法。通过理论计算,选择合适粒径的硅粉,结合实际生产,总结出最优工艺参数,保证三氯氢硅合成系统稳定运行。

分光光度法测定多晶硅生产尾气回收氢中的微量磷化氢

采用溴水作为吸收溶液，将尾气回收氢中的微量磷化氢氧化吸收、富集后生成磷酸。在酸性介质中正磷酸与钼酸铵反应生成磷钼杂多酸，用抗坏血酸还原为蓝色的络合物，然后采用分光光度法于700nm波长处测定吸光度，间接计算出磷化氢含量。实验结果表明，在0—400wg／L浓度范围内磷的线性关系良好（r=0．999），方法检出限为0．045μg／L。该方法操作快速简便，可应用于多晶硅生产尾气回收氢中微量磷化氢的测定。

分子直径法计算相对校正因子在气相色谱法测定三氯氢硅含量中的应用

在气相色谱法测定三氯氢硅含量中,采用分子直径法,以四氯化硅为标准物,计算氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅在热导检测器上的相对校正因子,并以氦气为载气,测定三氯氢硅对四氯化硅的相对质量校正因子。未采用分子直径法得到的相对质量校正因子为0.891,采用分子直径法得到的相对质量校正因子为0.915,两者相对误差为1.13%。

毛细管柱气相色谱法测定氢气中的氯化氢

多晶硅生产中,干法回收氢气作为原料还原剂和载流气体，若其中氯化氢含量高，则在多晶硅生产过程的前期可能出现倒炉现象，后期可能出现磷超标现象，严重影响多晶硅的质量。因此需对回收氢气中的氯化氢进行测定。

烟酸体系中烟酸含量对镀银过程及镀层性能的影响

为了在316L不锈钢材质的还原炉内壁获得光亮镀银层,研究了从烟酸体系制备银镀层的工艺,采用电化学工作站研究了电沉积性能和镀层耐蚀性,采用热反射率测试仪测试了镀层反射率,通过XRD表征不同制备条件下所得镀层的相组成。结果发现,随着烟酸浓度的增大,电沉积电位越低,镀层晶粒越小;不同烟酸浓度得到的银镀层有不同的择优取向,随着镀液中烟酸浓度的升高,镀层的耐腐蚀性降低,热反射率降低;烟酸浓度对镀层的表面光亮度无明显影响,通过对比银镀层与不锈钢基体的热反射率,发现热反射率与材料本身有很大的关系。研究得知,在烟酸体系可以获得光亮、耐蚀性好的银镀层。

亚硫酸钾配位剂及工艺参数对电镀金层热反射率及其他性能的影响

多晶硅生产的还原炉壁体热反射率的高低对电能消耗有很大的影响,过去,少有相关的研究报道。使用亚硫酸盐体系对还原炉内壁电镀金,研究了镀金电流密度、镀覆时间等对镀金层光亮度、热反射率的影响;探讨了镀液中配位剂亚硫酸钾浓度对镀层显微硬度、沉积速率及阴极电流效率的影响。结果表明:电流密度为0.4A/dm2,镀覆时间为10 min时镀金层外观质量最好,亚硫酸钾浓度为100 g/L时镀金层的显微硬度、阴极电流效率和沉积速率达到最大值;镀金层的光亮度与电流密度和镀覆时间有很大关系;镀金层的热反射率比不锈钢基体的高,光亮镀层的热反射率比半光亮镀层的高;镀液中亚硫酸钾含量的变化使得镀金层的显微硬度和沉积速率发生了改变。

DELTA-F库仑式微量氧分析仪取样管线改造

介绍了DELTA-F库仑式微量氧分析仪的分析原理、结构特点及其在多晶硅生产中的应用情况。通过对取样管线的改进,解决了测量中存在的问题,更好的满足了生产需求。