表面波型微波感耦常压氩等离子体的光谱诊断

由Ｓｕｒｆａｔｒｏｎ在常压下获得了稳定的微波感耦氩等离子体。用光学多道分析仪研究了该等离子体随实验参数变化的光谱辐射及氩原子亚稳态（ｌＳｊ，ｊ＝２，３，４，５）特性。讨论了该等离子体的激发生成机制。