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碲锌镉衬底缺陷对液相外延碲镉汞薄膜结构的影响 被引量:14
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作者 吴刚 唐利斌 +4 位作者 马庆华 赵增林 张梅 黄晖 姬荣斌 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2005年第9期663-667,共5页
采用红外显微镜、X射线双晶回摆衍射法、X射线貌相术对CdZnTe衬底中的沉淀相、亚结构、组分偏析等缺陷进行了研究,并对用此衬底液相外延的HgCdTe薄膜作了测试。结果显示:CdZnTe衬底中亚晶界处聚集的位错在外延生长中呈发散状向薄膜中延... 采用红外显微镜、X射线双晶回摆衍射法、X射线貌相术对CdZnTe衬底中的沉淀相、亚结构、组分偏析等缺陷进行了研究,并对用此衬底液相外延的HgCdTe薄膜作了测试。结果显示:CdZnTe衬底中亚晶界处聚集的位错在外延生长中呈发散状向薄膜中延伸,造成了薄膜形成亚晶界和更大面积的由位错引起的晶格畸变应力区域,影响了薄膜结构的完整性。 展开更多
关键词 X射线双晶回摆衍射法 貌相术 CdZnTe衬底 HGCDTE薄膜 液相外延 Te沉淀相
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高纯碲中杂质的辉光放电质谱分析 被引量:8
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作者 唐利斌 荣百炼 姬荣斌 《质谱学报》 EI CAS CSCD 2004年第B10期17-18,共2页
The trace impurities in high purity Te were measured by use of VG9000 glow discharge mass spectrometer (GDMS). Results showed that the stability of analytical performance and the accuracy of analytical results can be ... The trace impurities in high purity Te were measured by use of VG9000 glow discharge mass spectrometer (GDMS). Results showed that the stability of analytical performance and the accuracy of analytical results can be assured by means of optimizing the glow discharge conditions and effective eliminating interference. The test results are based on the average value of the three-time tests. The reproducibility and accuracy of the test data indicated that GDMS is a useful tool for elemental analysis of high purity solid samples. 展开更多
关键词 高纯碲 杂质分析 辉光放电质谱 Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体
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液相外延HgCdTe薄膜组分的均匀性 被引量:2
3
作者 马庆华 陈建才 +3 位作者 吴军 孔金丞 杨宇 姬荣斌 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期513-516,共4页
利用水平推舟液相外延法,以CdZnTe作为衬底,固态HgTe作为Hg补偿源,从富Te HgCdTe溶液中外延生长大面积 HgCdTe 薄膜.通过选择合适的温度和生长速率,获得了组分均匀性和重复性较好的大面积长波HgCdTe薄膜.
关键词 液相外延 HGCDTE 组分均匀性
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