C2H2流量对阴极弧沉积AlTiCN涂层结构和性能的影响

采用阴极弧技术制备了AlTiCN纳米复合薄膜,利用场发射电镜、X射线光电子能谱仪、纳米压痕仪、球盘式摩擦磨损实验机和电化学工作站研究了C2H2流量对AlTiCN薄膜微结构、硬度、摩擦特性及耐腐蚀性能的影响。结果表明:AlTi(C,N)薄膜在C2H2流量为30 SCCM时表现为粗大的柱状结构,随C2H2流量增大至60 SCCM,薄膜由柱状转为均匀的细晶结构。AlTi(C,N)薄膜在C2H2流量为60 SCCM时硬度达到最大值22.31 GPa,较高的硬度主要源于基体有足够多数量的AlTiCN晶粒的支撑。薄膜摩擦系数随C2H2流量的增加而减小。所沉积的样品在3.5wt%NaCl溶液中均展现出较好的耐腐蚀性。