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石英晶体监控法镀制高精度光学薄膜
被引量:
2
1
作者
严晖
胡焕林
+1 位作者
孙嵩泉
李万福
《真空》
CAS
北大核心
2003年第5期16-18,共3页
讨论了石英晶体监控法在光学薄膜镀制过程中的应用原理。通过与常规的光学监控法镀制的膜层相比较 ,证实了石英晶体监控法有助于提高光学薄膜的光学品质。试验表明所镀膜层的光学性能优异 。
关键词
石英晶体监控法
光学薄膜
镀膜
光学性能
原理
振荡
相位
沉积
下载PDF
职称材料
高反膜的镀制实践与探索
2
作者
严晖
胡焕林
孙嵩泉
《光学仪器》
2004年第5期44-47,共4页
光学薄膜的厚度对光学元件的性能有决定性的影响,因此精确控制膜厚就成为了关键。分析了石英晶体监控法,介绍了IC/5镀膜自动控制仪。利用IC/5镀膜自动控制仪在现有镀膜机组上镀制出了高性能的高反膜。实验表明所镀膜层的光机性能优异,...
光学薄膜的厚度对光学元件的性能有决定性的影响,因此精确控制膜厚就成为了关键。分析了石英晶体监控法,介绍了IC/5镀膜自动控制仪。利用IC/5镀膜自动控制仪在现有镀膜机组上镀制出了高性能的高反膜。实验表明所镀膜层的光机性能优异,在光通信和激光器领域具有广阔的应用前景。
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关键词
IC
光通信
激光器
精确控制
石英晶体
光学元件
光学薄膜
高性能
镀膜层
应用前景
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职称材料
国产镀膜机实现多层膜自动化晶振控制
3
作者
李万福
秦清海
《真空》
CAS
北大核心
2003年第6期21-23,共3页
介绍了改造国产镀膜机的继电器控制线路的方法,从而实现其与INFICONIC/5晶振薄膜沉积监视器之间接口电路的转接。生产试验表明,采用此法改造后的装置可实现对多层光学薄膜的高精度、快速自动化监控。
关键词
镀膜机
继电器
晶振薄膜沉积监视器
光学薄膜
真空镀膜监控仪
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职称材料
题名
石英晶体监控法镀制高精度光学薄膜
被引量:
2
1
作者
严晖
胡焕林
孙嵩泉
李万福
机构
合肥
工业大学机械与汽车工程学院
普乐
(
合肥
)
光
技术
有限公司
出处
《真空》
CAS
北大核心
2003年第5期16-18,共3页
文摘
讨论了石英晶体监控法在光学薄膜镀制过程中的应用原理。通过与常规的光学监控法镀制的膜层相比较 ,证实了石英晶体监控法有助于提高光学薄膜的光学品质。试验表明所镀膜层的光学性能优异 。
关键词
石英晶体监控法
光学薄膜
镀膜
光学性能
原理
振荡
相位
沉积
Keywords
quartz crystal deposition monitor technology
optical film
Thermal vapor deposition coating
分类号
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
高反膜的镀制实践与探索
2
作者
严晖
胡焕林
孙嵩泉
机构
合肥
工业大学机械与汽车工程学院
普乐
(
合肥
)
光
技术
有限公司
出处
《光学仪器》
2004年第5期44-47,共4页
文摘
光学薄膜的厚度对光学元件的性能有决定性的影响,因此精确控制膜厚就成为了关键。分析了石英晶体监控法,介绍了IC/5镀膜自动控制仪。利用IC/5镀膜自动控制仪在现有镀膜机组上镀制出了高性能的高反膜。实验表明所镀膜层的光机性能优异,在光通信和激光器领域具有广阔的应用前景。
关键词
IC
光通信
激光器
精确控制
石英晶体
光学元件
光学薄膜
高性能
镀膜层
应用前景
Keywords
monitoring of the thin film thickness
high-reflective film
ion-assisted deposition
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
TN929 [电子电信—通信与信息系统]
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职称材料
题名
国产镀膜机实现多层膜自动化晶振控制
3
作者
李万福
秦清海
机构
普乐
(
合肥
)
光
技术
有限公司
出处
《真空》
CAS
北大核心
2003年第6期21-23,共3页
文摘
介绍了改造国产镀膜机的继电器控制线路的方法,从而实现其与INFICONIC/5晶振薄膜沉积监视器之间接口电路的转接。生产试验表明,采用此法改造后的装置可实现对多层光学薄膜的高精度、快速自动化监控。
关键词
镀膜机
继电器
晶振薄膜沉积监视器
光学薄膜
真空镀膜监控仪
Keywords
coater
IC/5
relay control
分类号
TN305.8 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
石英晶体监控法镀制高精度光学薄膜
严晖
胡焕林
孙嵩泉
李万福
《真空》
CAS
北大核心
2003
2
下载PDF
职称材料
2
高反膜的镀制实践与探索
严晖
胡焕林
孙嵩泉
《光学仪器》
2004
0
下载PDF
职称材料
3
国产镀膜机实现多层膜自动化晶振控制
李万福
秦清海
《真空》
CAS
北大核心
2003
0
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职称材料
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