石英晶体监控法镀制高精度光学薄膜

讨论了石英晶体监控法在光学薄膜镀制过程中的应用原理。通过与常规的光学监控法镀制的膜层相比较 ,证实了石英晶体监控法有助于提高光学薄膜的光学品质。试验表明所镀膜层的光学性能优异 。

高反膜的镀制实践与探索

光学薄膜的厚度对光学元件的性能有决定性的影响,因此精确控制膜厚就成为了关键。分析了石英晶体监控法,介绍了IC/5镀膜自动控制仪。利用IC/5镀膜自动控制仪在现有镀膜机组上镀制出了高性能的高反膜。实验表明所镀膜层的光机性能优异,在光通信和激光器领域具有广阔的应用前景。

国产镀膜机实现多层膜自动化晶振控制

介绍了改造国产镀膜机的继电器控制线路的方法,从而实现其与INFICONIC/5晶振薄膜沉积监视器之间接口电路的转接。生产试验表明,采用此法改造后的装置可实现对多层光学薄膜的高精度、快速自动化监控。