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题名四甲基氢氧化铵的制备与检测
被引量:1
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作者
刘耀鹏
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机构
晶瑞电子材料股份有限公司
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出处
《山西化工》
2022年第1期86-88,共3页
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文摘
介绍了四甲基氢氧化铵的制备与检测方法。四甲基氢氧化铵的制备主要采用电解的方法,电解的原料有四甲基氯化铵和四甲基碳酸氢铵,两种原料在制备四甲基氢氧化铵的过程中各有优缺点,提纯原料的过程中也采用了不同的理念。四甲基氢氧化铵的检测项目主要是根据四甲基氢氧化铵的应用场合并结合具体的应用工艺,对所确定的检测指标及确认的数值范围进行检测。四甲基氢氧化铵主要用于正性光刻胶的显影。四甲基氢氧化铵在正性光刻胶显影的过程中,需要对表面张力进行精准控制。随着半导体制造工艺的提升,线宽逐渐降低,对显影液的纯度要求也越来越高。
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关键词
四甲基氢氧化铵
电解
纯度
表面张力
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Keywords
tetramethylammonium hydroxide
electrolysis
purity
surface tension
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分类号
TQ113.7
[化学工程—无机化工]
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题名2.0时代已来——电动车行业趋势展望
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作者
李勍
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机构
晶瑞电子材料股份有限公司
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出处
《中外企业文化》
2022年第6期60-62,共3页
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文摘
电车大概分三个时代:2012年特斯拉推出电动车,2013年电动车进入中国香港。1.0时代主要是电动化转型——过去汽车以燃油车为主;2.0时代主要是应用场景拓展,汽车不仅是交通工具,开始向一些生活、工作甚至生意场景转移;3.0时代,汽车可能会变成个人的第三空间。
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关键词
电动车行业
第三空间
特斯拉
电动化
中国香港
趋势展望
交通工具
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分类号
F42
[经济管理—产业经济]
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题名半导体级异丙醇的制备与检测
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作者
刘耀鹏
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机构
晶瑞电子材料股份有限公司
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出处
《微纳电子与智能制造》
2022年第4期88-93,共6页
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文摘
随着芯片制造工艺的迅速发展和化学机械研磨技术的推广,芯片(特别是存储芯片)的堆叠层数急剧增加,对清洗和干燥的要求越来越高。异丙醇作为清洗颗粒和干燥水分的重要溶剂之一,对其性能要求也随着半导体制造工艺的发展越来越高。研究和开发高性能异丙醇成为了产业界的重要课题之一。本文介绍了工业级异丙醇的合成、半导体级异丙醇的提纯以及提纯后产品的检测。提纯主要采用精馏、重整、纳滤、离子交换等方法。最终得到的产品经检测后产品的性能优于SEMI TierD标准。
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关键词
异丙醇
精馏
重整
纳滤
离子交换
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Keywords
isopropyl alcohol
distillation
reforming
nanofiltration
ion exchange
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分类号
TN32
[电子电信—物理电子学]
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题名半导体级丙二醇甲醚醋酸酯的制备与检测
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作者
刘耀鹏
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机构
晶瑞电子材料股份有限公司
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出处
《微纳电子与智能制造》
2022年第1期120-124,共5页
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文摘
随着芯片技术的快速发展,对光刻胶性能的要求越来越高。正性光刻胶因为具有分辨率等方面的优势,得到越来越多的重视。丙二醇甲醚醋酸酯作为正性光刻胶的溶剂之一,对正性光刻胶的性能有重要影响。研究和开发高性能丙二醇甲醚醋酸酯成为产业界的重要课题之一。本文介绍了工业级丙二醇甲醚醋酸酯的合成、半导体级丙二醇甲醚醋酸酯的提纯以及提纯后产品的检测。提纯主要采用精馏,纳滤,离子交换等方法。最终得到的产品经检测后产品的性能优于SEMI G4标准。
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关键词
丙二醇甲醚醋酸酯
精馏
纳滤
离子交换
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Keywords
propylene glycol methyl ether acetate
distillation
nanofiltration
ion exchange
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分类号
TN32
[电子电信—物理电子学]
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