MEMS传感器及其加工技术

MEMS即微型机械电子系统,集微电子学,纳米技术,力学和微细加工技术,是现代多学科融合的成果。它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、尤其具有更高的可靠性,同时,其微小的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。