采用快速微分输出的氯气传感器

介绍了一种新型氯气传感器。通过对敏感材料的研究和采用混合集成电路工艺，使器件具有较高的可靠性和批量制造能力。通过对化学吸附平衡方式的敏感特性的研究，提出以微分输出信号作为检测信号的方式，从而实现了在３秒钟内响应输出的高敏感速度，并使器件实现频繁的重复测量而重复性误差很小。