SiO_2衬底上外延横向覆盖生长单晶硅薄膜的研究

本文论述了SOI方法之一——ELO(外延横向覆盖生长)技术的特点和工艺方案。利用射频加热卧式常压外延设备进行了系统的工艺研究,重点探讨了如何提高ELO层的质量和如何减少单晶缺陷的问题。分别在10微米和15微米宽的SiO_2条状图形上生长出了硅单晶层,检测分析了ELO层的结构特性。基于ELO工艺的特点提出了利用HCl在位抛光减薄ELO层的工艺。

机电一体化、智能化仪器仪表“七·五”发展对策

在促进技术进步、发展商品经济的方针指导下,根据当前国内仪器仪表工业的现状,机电一体化、智能化仪器仪表“七·五”发展对策是:发展共性技术,开发基础元件,对有些引进产品进行反设计,加速国产化,继续采用技贸结合的方式引进机电一体化技术。推广初级型的机电一体化仪器仪表和一般智能化仪器仪表,开发中级型机电一体化仪器仪表,跟踪高级型机电一体化仪器仪表和高级智能化仪器仪表。

精密机械零件孔间距的高速自动检测

本文介绍了一种高精度、高速度地自动检测孔间距的新方法,对运用这种方法的实例“滚子链链板中心距自动测量分选机”也作了扼要介绍,该机器测量重复准确度达到了±0.003mm,测量速度达到了60件/分,技术指标先进。

液压集成块的计算机辅助设计

1 前言液压集成块是安装各种液压元件,并在其内部按照系统控制要求实现元件间油道连通的复杂功能阀块。它的应用使液压系统的结构更加紧凑,安装和调试也更加灵活、方便,因此广泛用于各类液压系统。在一定尺寸限制的块体上,按系统控制要求正确地设计几十、上百乃至上千个孔道,对设计人员来说是件繁琐的工作,而校验这些孔道正确与否,则更为复杂,因而。

高效节能电液伺服液压系统

用电液伺服阀来控制伺服油缸或伺服油马达的液压系统,效率低是很突出的问题。其原因:1)电液伺服阀本身节流损失大;2)液压系统油源的压力和流量需按负载最大工况条件来考虑。而事实上,电液伺服系统负载工况条件是不断变化的,并且在最大工况条件下工作时间往往较短;不少电液伺服系统大部分时间在小负载工况条件下工作。

高浓磨浆机液压控制系统

论述了造纸业中高浓磨浆机的液压控制系统。该系统具有较高的控制精度(0.01mm)。较大的抵抗外载荷变化的能力(165kN)及其非常高的工作可靠性。

飞机副油箱晃振试验液压伺服系统中的计算机控制技术

“飞机副油箱晃振试验设备”是飞机副油箱环境试验的关键设备之一。本文介绍的飞机副油箱晃振控制系统采用计算机闭环控制,实现了对晃振30秒平均峰-峰值的实时控制和数据处理。

μP-16A微型打印机和计算机的接口技术

μp-16A微型打印机自带单片微处理器、2KB控制程序和标准圣特尼克(Centronic)并行接口,便于与使用各种CPU的计算机或智能仪器仪表联结,作为程序或数据的打印记录设备。笔者将应用过的四种实用接口电路及控打程序整理成文,供同行用户参考。

液压圆柱螺旋压缩弹簧设计软件介绍

在液压元件的开发设计中,弹簧的设计计算是经常遇到的问题。液压件用弹簧具有结构小、尺寸要求严、力特性准确、使用寿命长的特点。选用的材料要求有较高的作用应力,而且不同结构的元件对弹簧的设计计算要求也略有不同。因此,采用手工设计时计算繁琐,结果也不一定最佳。目前开发了一些弹簧设计计算软件,在一定程度上减少了计算的工作量,但仍需反复计算和查阅资料。本文所介绍的软件就从根本上解决了这一问题。