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一种基于对称结构的固体材料放气率测试装置设计
1
作者
余荣
魏萌萌
+11 位作者
闫睿
李京
陈俊儒
陈千睿
张吉峰
丁双
杨传森
姚雪琦
康朋伟
王欢
卢耀文
齐京
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第7期577-582,共6页
为了解决小于10-8Pa·m^(3)/s的固体材料放气率测试问题,设计出一种基于对称结构的测试装置。通过对称结构的两个相同真空室分别作为样品室和空载参考室,避免了采用一个真空室先后分别测量空载时本底放气和放置样品后放气重复过程...
为了解决小于10-8Pa·m^(3)/s的固体材料放气率测试问题,设计出一种基于对称结构的测试装置。通过对称结构的两个相同真空室分别作为样品室和空载参考室,避免了采用一个真空室先后分别测量空载时本底放气和放置样品后放气重复过程及引入的较大测量偏差;采用耐高温特殊石英材料制成的低放气率真空室,为实现放气率比较小的固体材料测试解决了真空室本底放气的限制条件;设计出用同一台真空计通过转换气路分别测量样品室和空载室内压力的对称结构,避免了原有动态流量法采用两台真空计分别测量时由于灵敏度的差异而引入的较大偏差;装置集成了标准气体流量计用于真空计的在线校准,提高了测量结果的准确性;采用的对称结构陶瓷加热炉,对样品实现25℃~1000℃范围的加热,设计的装置对材料放气量的测量范围为5×10^(-6)Pa·m^(3)/s~5×10^(-10)Pa·m^(3)/s。
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关键词
放气率
固体材料
对称结构
样品室
参考室
动态流量法
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职称材料
非蒸散型吸气剂泵(NEG)对N_(2)气的抽气特性研究
2
作者
陈千睿
魏萌萌
+6 位作者
卢耀文
杨传森
丁双
闫睿
杨振
康朋伟
陈又琦
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第2期79-83,共5页
非蒸散型吸气剂泵(NEG)是采用过渡族金属材料的吸气特性制作成的真空泵,用于超高/极高真空环境的获得及气体的纯化等方面。本文研制出吸气剂泵性能测试系统,研究了非蒸散型吸气剂泵对N_(2)气的抽气特性,分析了影响抽气性能的因素。研制...
非蒸散型吸气剂泵(NEG)是采用过渡族金属材料的吸气特性制作成的真空泵,用于超高/极高真空环境的获得及气体的纯化等方面。本文研制出吸气剂泵性能测试系统,研究了非蒸散型吸气剂泵对N_(2)气的抽气特性,分析了影响抽气性能的因素。研制的系统采用标准流量抽速测试方法,采用固定流导法流量计提供(10^(-5)~10^(-8))Pam^(3)/s的标准气体流量,可在测试罩内获得(10^(-2)~10^(-5))Pa的气体压力下实现抽速测试。实验结果表明,NEG泵激活后处于最佳抽气状态,当抽速下降之后可在超高真空条件下放置一段时间将抽速恢复至初始状态,但泵的整体抽气性能发生一定变化;当泵连续抽气时,抽速随着吸气量的增大而逐渐减小,随着泵抽气压力的增大而减小。
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关键词
非蒸散型吸气剂泵
抽速
激活
标准气体流量
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职称材料
题名
一种基于对称结构的固体材料放气率测试装置设计
1
作者
余荣
魏萌萌
闫睿
李京
陈俊儒
陈千睿
张吉峰
丁双
杨传森
姚雪琦
康朋伟
王欢
卢耀文
齐京
机构
北京市
真
空计量检测工程技术研究
中
心
北京东方计量测试研究所
杭州中真科技有限公司
北京
真
空电子
科技
有限公司
清华大学
出处
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第7期577-582,共6页
文摘
为了解决小于10-8Pa·m^(3)/s的固体材料放气率测试问题,设计出一种基于对称结构的测试装置。通过对称结构的两个相同真空室分别作为样品室和空载参考室,避免了采用一个真空室先后分别测量空载时本底放气和放置样品后放气重复过程及引入的较大测量偏差;采用耐高温特殊石英材料制成的低放气率真空室,为实现放气率比较小的固体材料测试解决了真空室本底放气的限制条件;设计出用同一台真空计通过转换气路分别测量样品室和空载室内压力的对称结构,避免了原有动态流量法采用两台真空计分别测量时由于灵敏度的差异而引入的较大偏差;装置集成了标准气体流量计用于真空计的在线校准,提高了测量结果的准确性;采用的对称结构陶瓷加热炉,对样品实现25℃~1000℃范围的加热,设计的装置对材料放气量的测量范围为5×10^(-6)Pa·m^(3)/s~5×10^(-10)Pa·m^(3)/s。
关键词
放气率
固体材料
对称结构
样品室
参考室
动态流量法
Keywords
Outgassing rate
Solid materials
Symmetrical structure
Sample chamber
Reference chamber
Dynamic flow method
分类号
TB77 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
非蒸散型吸气剂泵(NEG)对N_(2)气的抽气特性研究
2
作者
陈千睿
魏萌萌
卢耀文
杨传森
丁双
闫睿
杨振
康朋伟
陈又琦
机构
北京市
真
空计量检测工程技术研究
中
心
北京东方计量测试研究所
杭州中真科技有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第2期79-83,共5页
基金
北京市科技新星项目(2022115)
中关村科技园概念验证项目(20210421075)。
文摘
非蒸散型吸气剂泵(NEG)是采用过渡族金属材料的吸气特性制作成的真空泵,用于超高/极高真空环境的获得及气体的纯化等方面。本文研制出吸气剂泵性能测试系统,研究了非蒸散型吸气剂泵对N_(2)气的抽气特性,分析了影响抽气性能的因素。研制的系统采用标准流量抽速测试方法,采用固定流导法流量计提供(10^(-5)~10^(-8))Pam^(3)/s的标准气体流量,可在测试罩内获得(10^(-2)~10^(-5))Pa的气体压力下实现抽速测试。实验结果表明,NEG泵激活后处于最佳抽气状态,当抽速下降之后可在超高真空条件下放置一段时间将抽速恢复至初始状态,但泵的整体抽气性能发生一定变化;当泵连续抽气时,抽速随着吸气量的增大而逐渐减小,随着泵抽气压力的增大而减小。
关键词
非蒸散型吸气剂泵
抽速
激活
标准气体流量
Keywords
Non-evaporable getter
Pumping speed
Activation
Standard gas flow
分类号
TB771 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种基于对称结构的固体材料放气率测试装置设计
余荣
魏萌萌
闫睿
李京
陈俊儒
陈千睿
张吉峰
丁双
杨传森
姚雪琦
康朋伟
王欢
卢耀文
齐京
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023
0
下载PDF
职称材料
2
非蒸散型吸气剂泵(NEG)对N_(2)气的抽气特性研究
陈千睿
魏萌萌
卢耀文
杨传森
丁双
闫睿
杨振
康朋伟
陈又琦
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
0
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职称材料
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