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金刚石粉悬浮液超声预处理促进金刚石成核特性研究
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作者 郝天亮 石成儒 +1 位作者 曾耀武 邱东江 《杭州大学学报(自然科学版)》 CSCD 1997年第4期322-328,共7页
本工作发展了一种金刚石粉悬浮液超声预处理方法,有效地促进了各种衬底材料特别是绝缘材料上金刚石膜的成核,大大提高成核密度,使硅和石英玻璃上金刚石晶粒密度分别达到1010和109cm-2,并使成核的孕育期缩短到5分钟,获得了连续的... 本工作发展了一种金刚石粉悬浮液超声预处理方法,有效地促进了各种衬底材料特别是绝缘材料上金刚石膜的成核,大大提高成核密度,使硅和石英玻璃上金刚石晶粒密度分别达到1010和109cm-2,并使成核的孕育期缩短到5分钟,获得了连续的超薄金刚石膜。本文同时提出了这种预处理方法促进成核的机理。 展开更多
关键词 金刚石膜 成核密度 超声预处理 金刚石粉 悬浮液
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