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氧气等离子体处理提升InZnO材料及TFT电学性能和稳定性研究
1
作者
黄传鑫
辛纪英
+4 位作者
田中俊
王猛
吕凯凯
梁兰菊
刘云云
《真空》
CAS
2023年第4期24-28,共5页
氧化物薄膜晶体管(TFT)是有源矩阵有机发光二极管的核心驱动元件,是现今开发新型显示器的关键技术,在平板显示方面具有广阔的应用前景。但氧化物半导体中存在大量由氧空位引起的缺陷态,从而影响了TFT器件的性能及稳定性,成为其商业化进...
氧化物薄膜晶体管(TFT)是有源矩阵有机发光二极管的核心驱动元件,是现今开发新型显示器的关键技术,在平板显示方面具有广阔的应用前景。但氧化物半导体中存在大量由氧空位引起的缺陷态,从而影响了TFT器件的性能及稳定性,成为其商业化进程的瓶颈。本文通过磁控溅射方法制备了IZO TFT,并将其进行O2等离子体处理,研究了离子体处理对IZO薄膜及TFT性能的影响。结果表明:O2等离子体处理后IZO TFT迁移率由8.2cm^(2)/(V·s)提高到9.5cm^(2)/(V·s),阈值电压由-3.2V减小到-5.1V,亚阈值摆幅由0.45V/decade减小到0.38V/decade,开关比由2.3×10^(7)提高到4.4×10^(7);在光照负偏压下,器件的阈值电压漂移量从7.1V降低到3.2V;在100℃老化条件下,器件的阈值电压漂移量从12.5V降低到6.4V;O2等离子体处理可以有效提高IZO TFT的电学性能和稳定性。
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关键词
薄膜晶体管
磁控溅射
O2等离子体处理
缺陷态
稳定性
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职称材料
新时代背景下以化学类科技竞赛为载体的高等学校化学化工新科技人才培养模式研究
被引量:
1
2
作者
黄传鑫
辛纪英
+4 位作者
王猛
田中俊
吕凯凯
刘云云
梁兰菊
《广东化工》
CAS
2022年第3期184-185,188,共3页
近年来,随着化工产业的信息化、自动化、融合化和智能化趋势的增强,单一、保守不够灵活传统的化学化工类教育模式和人才培养模式,无法适应新科技人才的培养。科技竞赛是高校学生综合运用多学科知识解决实际问题,提高创新能力的一种有效...
近年来,随着化工产业的信息化、自动化、融合化和智能化趋势的增强,单一、保守不够灵活传统的化学化工类教育模式和人才培养模式,无法适应新科技人才的培养。科技竞赛是高校学生综合运用多学科知识解决实际问题,提高创新能力的一种有效途径。本文以学生为主体,以教师为指导的运作模式,将科技创新竞赛融入新科技人才培养全过程,构建企业与学校"双服务平台",将专业能力培养与创新能力培养相结合,建设化学化工新科技人才培养体系。
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关键词
科技竞赛
教学改革
化工新科技
人才培养
校企合作
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职称材料
建筑工程安全管理中信息技术运用研究
被引量:
1
3
作者
孟凡星
《中国应急管理科学》
2021年第12期64-71,共8页
为了实现安全管理工作实施的有效性,本文探讨将信息技术运用到此项工作中的意义,分析当前在使用信息技术时遭遇到的信息理念不强、项目部门缺乏重视等问题,并结合内容制定出科学的处理方案。此外,通过搭建实名制信息管理平台、健全安全...
为了实现安全管理工作实施的有效性,本文探讨将信息技术运用到此项工作中的意义,分析当前在使用信息技术时遭遇到的信息理念不强、项目部门缺乏重视等问题,并结合内容制定出科学的处理方案。此外,通过搭建实名制信息管理平台、健全安全管理信息化体系等措施,以期将信息技术的优势全面发挥,为建筑工程安全做出保证。
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关键词
建筑工程
安全管理
信息技术
实名制管理
信息化体系
原文传递
题名
氧气等离子体处理提升InZnO材料及TFT电学性能和稳定性研究
1
作者
黄传鑫
辛纪英
田中俊
王猛
吕凯凯
梁兰菊
刘云云
机构
枣庄
学院
光电工程
学院
枣庄学院后勤服务处
出处
《真空》
CAS
2023年第4期24-28,共5页
基金
山东省自然科学青年基金(ZR2021QF081)
枣庄学院博士启动项目(1020716)。
文摘
氧化物薄膜晶体管(TFT)是有源矩阵有机发光二极管的核心驱动元件,是现今开发新型显示器的关键技术,在平板显示方面具有广阔的应用前景。但氧化物半导体中存在大量由氧空位引起的缺陷态,从而影响了TFT器件的性能及稳定性,成为其商业化进程的瓶颈。本文通过磁控溅射方法制备了IZO TFT,并将其进行O2等离子体处理,研究了离子体处理对IZO薄膜及TFT性能的影响。结果表明:O2等离子体处理后IZO TFT迁移率由8.2cm^(2)/(V·s)提高到9.5cm^(2)/(V·s),阈值电压由-3.2V减小到-5.1V,亚阈值摆幅由0.45V/decade减小到0.38V/decade,开关比由2.3×10^(7)提高到4.4×10^(7);在光照负偏压下,器件的阈值电压漂移量从7.1V降低到3.2V;在100℃老化条件下,器件的阈值电压漂移量从12.5V降低到6.4V;O2等离子体处理可以有效提高IZO TFT的电学性能和稳定性。
关键词
薄膜晶体管
磁控溅射
O2等离子体处理
缺陷态
稳定性
Keywords
thin film transistor
RF sputtering
O2 plasma treatment
defect
stability
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
TN386 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
新时代背景下以化学类科技竞赛为载体的高等学校化学化工新科技人才培养模式研究
被引量:
1
2
作者
黄传鑫
辛纪英
王猛
田中俊
吕凯凯
刘云云
梁兰菊
机构
枣庄
学院
光电工程
学院
枣庄学院后勤服务处
出处
《广东化工》
CAS
2022年第3期184-185,188,共3页
基金
山东省自然科学青年基金(ZR202103010833)
2020年度教育部产学合作协同育人项目(202002288054,202002188006)
+3 种基金
山东省教改立项面上项目
山东省课程思政示范项目,枣庄学院博士启动项目(1020716)
枣庄学院课程思政示范项目(02042101)
枣庄学院教改立项重点项目,枣庄学院教改立项一般项目。
文摘
近年来,随着化工产业的信息化、自动化、融合化和智能化趋势的增强,单一、保守不够灵活传统的化学化工类教育模式和人才培养模式,无法适应新科技人才的培养。科技竞赛是高校学生综合运用多学科知识解决实际问题,提高创新能力的一种有效途径。本文以学生为主体,以教师为指导的运作模式,将科技创新竞赛融入新科技人才培养全过程,构建企业与学校"双服务平台",将专业能力培养与创新能力培养相结合,建设化学化工新科技人才培养体系。
关键词
科技竞赛
教学改革
化工新科技
人才培养
校企合作
Keywords
technology competition
teaching reform
new technology in chemical industry
talent training
school-enterprise cooperation
分类号
O6-4 [理学—化学]
G642 [文化科学—高等教育学]
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职称材料
题名
建筑工程安全管理中信息技术运用研究
被引量:
1
3
作者
孟凡星
机构
枣庄学院后勤服务处
出处
《中国应急管理科学》
2021年第12期64-71,共8页
文摘
为了实现安全管理工作实施的有效性,本文探讨将信息技术运用到此项工作中的意义,分析当前在使用信息技术时遭遇到的信息理念不强、项目部门缺乏重视等问题,并结合内容制定出科学的处理方案。此外,通过搭建实名制信息管理平台、健全安全管理信息化体系等措施,以期将信息技术的优势全面发挥,为建筑工程安全做出保证。
关键词
建筑工程
安全管理
信息技术
实名制管理
信息化体系
Keywords
construction engineering
safety management
information technology
real-name system management
information system
分类号
TU714 [建筑科学—建筑技术科学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氧气等离子体处理提升InZnO材料及TFT电学性能和稳定性研究
黄传鑫
辛纪英
田中俊
王猛
吕凯凯
梁兰菊
刘云云
《真空》
CAS
2023
0
下载PDF
职称材料
2
新时代背景下以化学类科技竞赛为载体的高等学校化学化工新科技人才培养模式研究
黄传鑫
辛纪英
王猛
田中俊
吕凯凯
刘云云
梁兰菊
《广东化工》
CAS
2022
1
下载PDF
职称材料
3
建筑工程安全管理中信息技术运用研究
孟凡星
《中国应急管理科学》
2021
1
原文传递
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