钽阳极氧化膜生成机理的探讨

用交流阻抗法对钽阳极氧化膜生成机理进行了研究。提出了钽的氧化反应式及反应控制步骤 ;得出其氧化膜电容量随着氧化电位的增加而减少 ,阻抗与阳极极化行为存在相关关系。