超大机电耦合系数声波谐振器的研究

该文研究了Pb(In_(1/2)Nb_(1/2))O_(3)-Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_(3)-PbTiO_(3)(PIN-PMN-PT)基片上声表面波(SAW)的传播特性。利用COMSOL软件建立SAW谐振器三维模型并进行模拟仿真。通过优化谐振器参数,设计了一种具有超大机电耦合系数(K^(2))的谐振器结构。结果表明,当欧拉角为(0°,-70°,0°)时,SH0模态的K^(2)可优化到约85%,且通带内无寄生响应。