基于干涉图像处理的表面粗糙度检测系统

为实现高精度量块表面粗糙度的快速、无损伤、自动化检测,研制了一套基于干涉图像处理的表面粗糙度检测系统。系统由干涉显微镜、数字CCD摄像头和计算机组成。待测量块表面经干涉显微镜所成的干涉图像由数字CCD摄像头采集并传输到计算机中,利用数字图像处理技术,对干涉条纹的边缘和中线进行提取,计算出量块表面粗糙度评定参数。提供了实测结果和测量不确定度评定,由测量重复性引起的不确定度为0.9nm,总的展伸不确定度为3nm。