金刚石薄膜的性质、制备及应用

金刚石有着优异的物理化学性质 ,化学气相沉积金刚石薄膜的研究受到研究人员和工业界的广泛关注。通过评述金刚石薄膜的性质、制备方法及应用等方面的研究成果 ,着重阐述化学气相沉积金刚石薄膜技术的基本原理 ,分析了各种沉积技术的优、缺点。结合对金刚石薄膜应用的讨论 ,分析了金刚石薄膜在工业应用中存在的问题和制备技术的发展方向。分析结果表明 :MWCVD法是高速率、高质量、大面积沉积金刚石薄膜的首选方法 ;而提高金刚石的生长速度。