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测量计算金属-半导体接触电阻率的方法
被引量:
13
1
作者
李鸿渐
石瑛
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期155-159,共5页
如何测量、计算得到精确接触电阻值已凸显重要。介绍了多种测量计算金属-半导体欧姆接触电阻率的模型和方法,如矩形传输线模型、圆点传输线模型、多圆环传输线模型等,对各方法的利弊进行了讨论,并结合最新的研究进展进行了评述和归纳。...
如何测量、计算得到精确接触电阻值已凸显重要。介绍了多种测量计算金属-半导体欧姆接触电阻率的模型和方法,如矩形传输线模型、圆点传输线模型、多圆环传输线模型等,对各方法的利弊进行了讨论,并结合最新的研究进展进行了评述和归纳。综合多种因素考虑,认为圆点传输线模型是一种较好的测量金属半导体接触电阻率的方法。
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关键词
金属-半导体接触
接触电阻率
传输线模型
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职称材料
题名
测量计算金属-半导体接触电阻率的方法
被引量:
13
1
作者
李鸿渐
石瑛
机构
武汉大学物理技术与科学学院
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期155-159,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(10675094
10205010
10435060)
文摘
如何测量、计算得到精确接触电阻值已凸显重要。介绍了多种测量计算金属-半导体欧姆接触电阻率的模型和方法,如矩形传输线模型、圆点传输线模型、多圆环传输线模型等,对各方法的利弊进行了讨论,并结合最新的研究进展进行了评述和归纳。综合多种因素考虑,认为圆点传输线模型是一种较好的测量金属半导体接触电阻率的方法。
关键词
金属-半导体接触
接触电阻率
传输线模型
Keywords
metal-semiconductor contact
specific contact resistance
transmission line model
分类号
TN304.07 [电子电信—物理电子学]
TN305.93 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
测量计算金属-半导体接触电阻率的方法
李鸿渐
石瑛
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008
13
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