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基于Cytop的电润湿显示单元的制备
被引量:
2
1
作者
张涵
王建波
+3 位作者
梁学磊
徐庆宇
肖长诗
周思远
《光电子技术》
CAS
北大核心
2013年第3期189-193,共5页
采用具有良好光学特性的Cytop作为绝缘疏水层,探索了电润湿显示单元器件的制备工艺。采用了氧等离子处理的方法解决Cytop优良的疏水性与光刻工艺的不兼容性,实现了单个显示像素的可控收缩与恢复。在此基础上制备了面积为5cm×5cm的...
采用具有良好光学特性的Cytop作为绝缘疏水层,探索了电润湿显示单元器件的制备工艺。采用了氧等离子处理的方法解决Cytop优良的疏水性与光刻工艺的不兼容性,实现了单个显示像素的可控收缩与恢复。在此基础上制备了面积为5cm×5cm的透射式和反射式的单色显示单元,表现出良好的显示效果,为下一步具有实用化的电润湿显示器件的制备奠定了坚实的基础。
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关键词
Cytop
电润湿
等离子体处理
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职称材料
题名
基于Cytop的电润湿显示单元的制备
被引量:
2
1
作者
张涵
王建波
梁学磊
徐庆宇
肖长诗
周思远
机构
武汉大学物理科学与技术学院、电子显微镜中心和人工微结构教育部重点实验室
北京
大学
信息
科学与
技术
学院
东南
大学
物理
系
南京晶奥微光电
技术
有限公司
出处
《光电子技术》
CAS
北大核心
2013年第3期189-193,共5页
基金
国家973项目(2011CB933300)
国家自然科学基金(51071110,40972044,51271134,J1210061)
+2 种基金
教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-07-0640)
教育部博士点基金(20090141110059)
中央高校基本科研业务费专项基金
文摘
采用具有良好光学特性的Cytop作为绝缘疏水层,探索了电润湿显示单元器件的制备工艺。采用了氧等离子处理的方法解决Cytop优良的疏水性与光刻工艺的不兼容性,实现了单个显示像素的可控收缩与恢复。在此基础上制备了面积为5cm×5cm的透射式和反射式的单色显示单元,表现出良好的显示效果,为下一步具有实用化的电润湿显示器件的制备奠定了坚实的基础。
关键词
Cytop
电润湿
等离子体处理
Keywords
cytop electrowetting
plasma treatment
分类号
TN141 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于Cytop的电润湿显示单元的制备
张涵
王建波
梁学磊
徐庆宇
肖长诗
周思远
《光电子技术》
CAS
北大核心
2013
2
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职称材料
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