水性丙烯酸醇酸树脂紫外光刻胶的制备与性能研究

用大豆油、三羟甲基丙烷、顺丁烯二酸酐和偏苯三酸酐为主要原料制备水性醇酸树脂,再加入乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、二苯甲酮和安息香乙醚,合成紫外光固化水性光刻胶。用红外光谱表征了产物结构;用粒度分布仪测得不同pH下产品的粒径大小;用粘度仪测定产品在不同pH下的粘度。此水性丙烯酸醇酸树脂对石英玻璃或铝箔的附着力较好,可望用作制造集成电路芯片的光刻胶。

聚丙烯酸酯深紫外光敏树脂的制备及性能研究

使用丙烯酸环己酯、丙烯酸-1,7,7-三甲基-双环[2.2.1]-2-庚酯、甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸作为反应单体,过氧化苯甲酰作为引发剂,回流聚合后制得聚丙烯酸酯深紫外光敏树脂。研究引发剂用量和聚合时间等反应条件对聚合转化率和产物粘度的影响,同时测定了胶膜硬度及其附着力等性能。

非离子型紫外光敏树脂合成与性能研究

通过Wittig反应合成带双键的非离子型产酸单体,将其与甲基丙烯酸叔丁酯在四氢呋喃中回流共聚,以偶氮二异丁腈作为引发剂,制得非离子型紫外光敏树脂。通过红外光谱、核磁和热重分析对光敏树脂的结构与性能进行表征。同时研究了引发剂种类和用量对光敏树脂的分子量和分子量分布的影响。