ZrO_2膜的相结构与显微组织

用 X射线衍射和扫描电镜研究了 Zr O2 膜的晶体结构和显微组织。结果表明 Zr O2 膜的相结构为立方氧化锆 (c- Zr O2 ) ,晶粒尺寸细微。发现 Zr O2 膜中存在具有 (111)面织构的柱状晶结构 。

ZrO_2膜的相结构与显微组织

本文用Ｘ射线衍射和扫描电镜研究了ＺｒＯ２膜的晶体结构和显微组织。结果表明ＺｒＯ２膜的相结构为立方氧化锆（ｃ－ＺｒＯ２），晶粒尺寸细微。发现ＺｒＯ２膜中存在具有｛１１１｝面织构的柱状晶结构，这种结构可用基片负偏压消除。