准分子激光直写加工特性与脉冲参数关系的研究

以玻璃为实验靶材 ,用精密微动平台准确调节靶材位置 ,利用波长 2 4 8nm的KrF准分子激光器 ,研究了准分子激光直写加工图形和激光脉冲数及脉冲能量之间的关系。实验证明 ,随着加工槽深度的增大 ,单个激光脉冲所烧蚀的深度逐渐减小 ,当达到一定的脉冲数时 ,所烧蚀槽的深度基本上保持不变。脉冲能量越大 ,刻蚀速率越大 。

干涉法测量多层透明膜系反射率

应用干涉法实现透明膜系反射率的测量。将待测膜系镀在两薄玻璃片上 ,并构成 F- P干涉仪 ,根据透射光谱的自由谱宽和干涉峰的半宽值 ,计算出膜系反射率 ,避免了光源波动对测量结果的影响。在实验中所用膜系的反射率小于 98%时 ,测量偏差小于 0 .0 0 4 %。

干涉法测量多层透明膜系反射率

应用干涉法实现透明膜系反射率的测量。将待测膜系镀在两薄玻璃片,并构成F-P干涉仪,根据透射光谱的自由谱宽和干涉峰的半宽值,计算出膜系反射率,避免了光源波动对测量结果的影响。在实验所用膜系的反射率小于98％时,测量误差小于O.09％。

准分子激光直写二维图形加工

为了探索准分子激光脉冲直写加工的参数和工艺 ,建立准分子激光微加工系统和材料加工工艺 ,对二维加工过程中激光刻蚀效果与扫描速度和激光参数之间的关系进行了理论推导 ,分析表明最大扫描速度受激光光斑尺寸和重复频率的约束。以玻璃为实验靶材 ,在 2 .7× 1mm2 范围内进行了二维图形刻蚀实验研究。结果显示 ,刻蚀对材料周围的热影响很小 ,刻蚀图形清洁而且清晰 。