半导体行业超纯水处理系统优化设计

文章初步介绍了超纯水基本概念、用途和主要性能指标,详细阐述了超纯水处理系统的典型工艺流程、单元模块的主要功用、常用仪器设备等。同时,根据实际项目经验,对超纯水处理系统设计在水质性能指标、工艺流程、设备和运行成本等方面提出了优化措施。