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比利时微电子研究中心IMEC的成功经验 被引量:7
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作者 高腾 《中国集成电路》 2003年第46期114-117,共4页
比利时微电子研究中心(IMEC)的全称为 Inter-university Micro-Electronic Center,即大学间微电子研究中心,其前身为比利时鲁汶大学微电子系。八十年代,西欧各国纷纷创立微电子研究中心,以发展本国微电子产业。1984年,从美国斯坦福大学... 比利时微电子研究中心(IMEC)的全称为 Inter-university Micro-Electronic Center,即大学间微电子研究中心,其前身为比利时鲁汶大学微电子系。八十年代,西欧各国纷纷创立微电子研究中心,以发展本国微电子产业。1984年,从美国斯坦福大学毕业的IMEC 展开更多
关键词 比利时 微电子研究中心 IMEC 政府支持 人力资源 国际性合作 知识产权 商业模式
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用于无线通信的MEMS技术:IMEC的研究领域
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作者 高腾 《中国集成电路》 2002年第1期60-62,共3页
微电子机械系统(MEMS)技术,简称微系统,是基于较先进的IC制造技术来生成体积小,重量轻,性能高的元件或系统。用微系统技术来制造射频(RF)元件,包括开关,可变电容和滤波器,用于替代那些应用在无线前端的体积大,价格高的分离无源射频元件... 微电子机械系统(MEMS)技术,简称微系统,是基于较先进的IC制造技术来生成体积小,重量轻,性能高的元件或系统。用微系统技术来制造射频(RF)元件,包括开关,可变电容和滤波器,用于替代那些应用在无线前端的体积大,价格高的分离无源射频元件,这是全球通信领域正在努力的大方向。本文简要介绍在IMEC,一个位于比利时鲁汶的微电子研究中心,所进行的射频微系统研究发展工作。 展开更多
关键词 无线通信 微系统技术 射频开关 微电子机械系统 系统集成 滤波器 系统元件 可变电容 系统开关 多芯片封装
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面向45纳米制造工艺的技术研究 被引量:5
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作者 高腾 《集成电路应用》 2003年第7期49-51,共3页
随着130纳米技术成为集成电路制造工业的主流技术,以及90纳米技术的逐渐成熟,欧洲微电子领域最大的独立研究中心TMEC,已将其研究重心转移到更小尺寸的工艺技术。其中,面向45纳米及更小尺寸的工艺研究项目包括:(1)157纳米深紫外线(DUV)... 随着130纳米技术成为集成电路制造工业的主流技术,以及90纳米技术的逐渐成熟,欧洲微电子领域最大的独立研究中心TMEC,已将其研究重心转移到更小尺寸的工艺技术。其中,面向45纳米及更小尺寸的工艺研究项目包括:(1)157纳米深紫外线(DUV)和极深紫外线(EUV)光刻;(2)用于平面缩小器件(Scaled Planar Device)的高迁移率膜的应用和先进的源/漏极工程方案;(3)用于平面缩小器件(Scaled Planar Device) 展开更多
关键词 集成电路 45纳米制造工艺 157纳米深紫外线光刻 极深紫外线光刻 高迁移率膜 金属栅极 CMOS器件 互连 清洗 杂质控制
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欧盟多项目晶圆服务
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作者 高腾 《中国集成电路》 2002年第6期42-44,共3页
简介 EUROPRACTICE多项目晶圆(MPW)服务是由欧盟在1995年10月建立的,旨在向欧洲公司提供先进的ASIC、多芯片模块(MCM)和微系统的解决方案,帮助其提高在全球市场的竞争地位。众所周知,设计。
关键词 多项目 解决方案 晶圆 欧盟 小批量生产 微系统 工艺技术 设计服务 设计规则 测试
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