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题名比利时微电子研究中心IMEC的成功经验
被引量:7
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作者
高腾
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机构
比利时imec微电子研究中心亚洲部
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出处
《中国集成电路》
2003年第46期114-117,共4页
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文摘
比利时微电子研究中心(IMEC)的全称为 Inter-university Micro-Electronic Center,即大学间微电子研究中心,其前身为比利时鲁汶大学微电子系。八十年代,西欧各国纷纷创立微电子研究中心,以发展本国微电子产业。1984年,从美国斯坦福大学毕业的IMEC
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关键词
比利时
微电子研究中心
IMEC
政府支持
人力资源
国际性合作
知识产权
商业模式
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分类号
F416.63
[经济管理—产业经济]
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题名用于无线通信的MEMS技术:IMEC的研究领域
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作者
高腾
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机构
比利时imec微电子研究中心
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出处
《中国集成电路》
2002年第1期60-62,共3页
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文摘
微电子机械系统(MEMS)技术,简称微系统,是基于较先进的IC制造技术来生成体积小,重量轻,性能高的元件或系统。用微系统技术来制造射频(RF)元件,包括开关,可变电容和滤波器,用于替代那些应用在无线前端的体积大,价格高的分离无源射频元件,这是全球通信领域正在努力的大方向。本文简要介绍在IMEC,一个位于比利时鲁汶的微电子研究中心,所进行的射频微系统研究发展工作。
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关键词
无线通信
微系统技术
射频开关
微电子机械系统
系统集成
滤波器
系统元件
可变电容
系统开关
多芯片封装
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分类号
TP211.4
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名面向45纳米制造工艺的技术研究
被引量:5
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作者
高腾
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机构
比利时imec微电子研究中心
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出处
《集成电路应用》
2003年第7期49-51,共3页
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文摘
随着130纳米技术成为集成电路制造工业的主流技术,以及90纳米技术的逐渐成熟,欧洲微电子领域最大的独立研究中心TMEC,已将其研究重心转移到更小尺寸的工艺技术。其中,面向45纳米及更小尺寸的工艺研究项目包括:(1)157纳米深紫外线(DUV)和极深紫外线(EUV)光刻;(2)用于平面缩小器件(Scaled Planar Device)的高迁移率膜的应用和先进的源/漏极工程方案;(3)用于平面缩小器件(Scaled Planar Device)
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关键词
集成电路
45纳米制造工艺
157纳米深紫外线光刻
极深紫外线光刻
高迁移率膜
金属栅极
CMOS器件
互连
清洗
杂质控制
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名欧盟多项目晶圆服务
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作者
高腾
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机构
比利时imec微电子研究中心亚洲部
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出处
《中国集成电路》
2002年第6期42-44,共3页
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文摘
简介 EUROPRACTICE多项目晶圆(MPW)服务是由欧盟在1995年10月建立的,旨在向欧洲公司提供先进的ASIC、多芯片模块(MCM)和微系统的解决方案,帮助其提高在全球市场的竞争地位。众所周知,设计。
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关键词
多项目
解决方案
晶圆
欧盟
小批量生产
微系统
工艺技术
设计服务
设计规则
测试
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分类号
F416.63
[经济管理—产业经济]
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